特殊和内联/全自动设备

低压等离子设备(等离子清洗器)

我们会专门 根据您的需求为您定制我们的 等离子设备。设计的决定性因素是 预期的材料通量待处理部件的规格大小。 短周期设备能够很好地集成到现有的生产线中。此外,全自动短周期设备还能够排除可能的操作错误。

这里只是已经生产的特殊/内联设备的一小部分选项

Tetra 120 LF-PC

| 内联设备

技术数据:

  • 开关柜: 宽 600 mm、高 2150 mm、深 1000 mm
  • 腔室: 宽 1200 mm、高 150 mm、深 700 mm
  • 腔室容积: 约120 升
  • 气体供给: 4 个通过 MFC 控制的气体通道
  • 发生器: 2 个(各为 40 kHz)(可选:13.56 MHz 或 2.45 GHz)
  • 控制系统: 配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
  • 自动化: 本设备具有一个自动门

Tetra 185 PCB 除胶机

| 特殊设备

技术数据:

  • 开关柜:宽 600 mm、高 2100 mm、深 1000 mm
  • 腔室:宽 400 mm、高 665 mm、深 700 mm
  • 腔室容积:约 185 升
  • 气体供给:通过 MFC 控制的 4 个气体通道
  • 发生器:1 个 (80 kHz)
  • 控制系统:Full PC 控制系统

特性:

  • 不同材料除胶渣(钻孔壁清洗)
  • 表面清洗
  • 金属表面活化
  • 7 个插槽,适用于同时处理 7 个尺寸最大为 460 x 610 mm 的板材或者 14 个尺寸最大为 230 x 305 mm 的印刷电路板

Tetra 210 LF-PC

| 内联设备

技术数据:

  • 开关柜:宽 1560 mm、高 2350 mm、深 1860 mm
  • 腔室:宽 6000 mm、高 600 mm、深 600 mm
  • 腔室容积:约 210 升
  • 气体供给:通过 MFC 控制的 2 个气体通道
  • 发生器:1 个脉冲发生器 1 个 (40 kHz)(可选:13.56 MHz 或 2.45 GHz)
  • 控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

Tetra 216 LF-PC

| 特殊设备

技术数据:

  • 开关柜:宽 600 mm、高 1700 mm、深 800 mm
  • 腔室:宽 600 mm、高 600 mm、深 620 mm
  • 腔室容积:约 216 升
  • 气体供给:通过 MFC 控制的 5 个气体通道
  • 发生器:1 个(各为 80 kHz) 
  • 控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows) 

Tetra 330 LF-PC

| 内联设备

技术数据:

  • 开关柜:宽 1200 mm、高 1800 mm、深 1800 mm
  • 腔室:宽 530 mm、高 700 mm、深 900 mm
  • 腔室容积:约 330 升
  • 气体供给:通过 MFC 控制的 4 个气体通道
  • 发生器:1 个(各为 80 kHz) 
  • 控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows) 

Tetra 375 卷对卷

| 特殊设备

技术数据

  • 配有开关柜的外壳,宽 3150mm、高 2200mm、深 1800mm
  • 腔室:宽 1500mm、高 1000mm、深 250mm
  • 气体:3 X 气体 1 X 臭氧
  • 发生器 5000
  • 控制系统:PC 控制系统
  • 卷对卷设备用于进行单独加工的两个独立的卷材。
     

Tetra 575 LF-PC

| 特殊设备

技术数据:

  • 开关柜: 宽 1150 mm、高 1900 mm、深 1600 mm
  • 腔室: 宽 600 mm、高 1200 mm、深 800 mm
  • 腔室容积: 约575 升
  • 气体供给: 2 个通过 MFC 控制的气体通道
  • 发生器:  1 个 (40 kHz)(可选:13.56 MHz 或 2.45 GHz)
  • 部件支架: 22 层/(个)产品支架(可变)
  • 控制系统: PC 控制系统 (Windows) 

Tetra 400 LF-PC

| 特殊设备

技术数据:

  • 开关柜:宽 600 mm、高 2100 mm、深 650 mm
  • 腔室:宽 915 mm、高 750 mm、深 725 mm
  • 腔室容积:约 400 升
  • 气体供给:通过 MFC 控制的 3 个气体通道
  • 发生器:2 个(各为 40 kHz)(可选:13.56 MHz 或 2.45 GHz)
  • 控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
  • 自动化:本设备具有一个自动移门

配有 2 个门的 Tetra 830 AL-PC

| 内联设备

技术数据:

  • 开关柜:宽 600 mm、高 1,700 mm、深 800 mm
  • 腔室:900 mm、高 400 mm、深 2300 mm
  • 门:2 个(正面 1 个,背面 1 个)
  • 腔室容积:约 830 升
  • 气体供给:通过 MFC 控制的 1 个气体通道
  • 发生器:1 个 (80 kHz)
  • 控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
  • 自动化:本设备可集成于一条生产线中。

Tetra 800 LF-PC

| 特殊设备

技术数据:

  • 开关柜:宽 600 mm、高 1800 mm、深 800 mm
  • 腔室:宽 1250 mm、高 550 mm、深 1120 mm
  • 腔室容积:约 800 升
  • 气体供给:通过 MFC 控制的 3 个气体通道
  • 发生器:1 个 (40 kHz)
  • 控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

Tetra 810 LF-PC

| 特殊设备

技术数据:

  • 开关柜:宽 1200 mm、高 2200 mm、深 2000 mm
  • 腔室:宽 900 mm、高 1100 mm、深 900 mm
  • 腔室容积:约 810 升
  • 气体供给:通过 MFC 控制的 2 个气体通道
  • 发生器:1 个 (80 kHz)
  • 控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

Tetra-1200-LF-PC 

| 特殊设备

技术数据:

  • 开关柜:宽 1000 mm、高 1000 mm、深 1800 mm
  • 腔室:宽 600、高 1000 mm、深 2000 mm
  • 腔室容积:约 1200 升
  • 气体供给:通过 MFC 控制的 2 个气体通道
  • 发生器:3 个(各为 40 kHz)
  • 控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

Tetra 2800-LF-PC

| 特殊设备

技术数据:

  • 开关柜:宽 600 mm、高 1700 mm、深 800 mm
  • 腔室:∅ 1200 mm,深 2500 mm
  • 腔室容积:约 2800 升
  • 气体供给:通过 MFC 控制的 3 个气体通道
  • 发生器:1 个 (40 kHz)(可选:13.56 MHz 或 2.45 GHz)
  • 控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

Tetra 3600

| 特殊设备

技术数据:

  • 开关柜/腔室:长 450 mm、高 210 mm、宽 170 mm
  • 腔室容积:约 3600 升
  • 气体供给:通过 MFC 控制的 2 个气体通道
  • 发生器:3 个 (80 kHz) (5KW) 氧气发生器
  • 控制系统:Full PC 控制系统 (Windows)- 旋转臂 
  • 抽屉系统:可伸缩产品支架

Tetra 8000-LF-PC

| 特殊设备

技术数据:

  • 开关柜:宽 2000 mm、高 1800 mm、深 1000 mm
  • 腔室:宽 1700 mm、深 2800 mm、高 1700 mm
  • 腔室容积:约 8000 升
  • 气体供给:通过 MFC 控制的 2 个气体通道
  • 发生器:4 个(各为 40 kHz)(可选:13.56 MHz 或 2.45 GHz)
  • 控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)

Bel Jar 35

| 特殊设备

Bell Jar 35 等离子设备是一种研究设备,其专为科学试验所研发。该设备即适用于热蒸发、溅射、电子束蒸发、用于 SEM(扫描电子显微镜)样品制备的金属涂覆,也适用于传统的等离子工艺流程。

 

 

技术数据:

  • 外壳约宽 560 mm x 高 1640 mm x 深 620 mm
  • 腔室容积:约 35 升
  • 供电电源:230 V / 16 A
  • 气体供给:3 个质量流量控制器 (MFC)
  • 真空腔室: 硼硅玻璃材质的玻璃罩 ∅ 315 mm x 高 500 mm
  • 溅射源: 1 个溅射源 2" - 3" + 挡板(针对反应性过程,可选配排烟管和进气口)
  • 基材支架: ∅ 140 mm(可选择旋转型、基材加热装置、基材冷却装置), 可切换为等离子预处理的电极(清洗、活化、蚀刻)
  • 控制系统:PC-控制系统 (Microsoft Windows XPe) 
  • 压力测量装置: Pirani
  • 真空泵: 不同规格,来自不同制造商(根据需要配备活性炭过滤器)
  • 其他选项: 备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉第笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项

 

发生器频率:    

  • 40 kHz:功率 0 - 500 W
  • 13.56 MHz:功率 0 - 300 W
  • 直流偏置电源或单极性脉冲
  • 功率最大为 300 W 电压最大为 600 V DC
  • 发生器为 0 - 100% 无级可调型

Tetra 30 LF-PC

| 内联设备

技术数据:

  • 开关柜:宽 800 mm、高 600 mm、深 500 mm
  • 腔室:宽 240 mm、高 150 mm、深 240 mm
  • 腔室容积:约 30 升
  • 气体供给:通过 MFC 控制的 1 个气体通道
  • 发生器:1 个 (40 kHz)(可选:13.56 MHz 或 2.45 GHz)
  • 控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
  • 自动化:本设备可集成于一条生产线中。
  • 本设备可作为套件提供。

Tetra 100 LF-PC

| 特殊设备

技术数据:

  • 开关柜:宽 2000 mm、高 2200 mm、深 2000 mm
  • 腔室:宽 700 mm、高 200 mm、深 700 mm
  • 腔室容积:约 100 升
  • 气体供给:通过 MFC 控制的 3 个气体通道
  • 发生器:1 个 (40 kHz)(可选:13.56 MHz 或 2.45 GHz)
  • 控制系统:配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
  • 自动化:本设备具有一个抽拉门

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