Die Eigenschaften von Parylene
Parylene sind Derivate des Benzols. Die Grundform Parylene N besteht aus einem Benzolmolekül an dessen Benzolring an zwei Ecken jeweils das Wasserstoffatom durch eine CH2-Gruppe ersetzt ist. Die Vorsilbe "para-" (abgekürzt "p-") zeigt an, dass diese beiden CH2-Gruppen an gegenüberliegenden Ecken des Benzol-Sechsecks angebunden sind.
Parylene N ist als ein reiner Kohlenwasserstoff.
Im Parylene-Molekül können aber ein oder mehrere Wasserstoffatome durch Halogen-Atome ersetzt werden. Halogene sind z.B. die chemischen Elemente Fluor und Chlor. Durch diese Variationen kann theoretisch eine Vielzahl von Parylene-Derivaten gebildet werden. Von praktischer Bedeutung und kommerziell verwendet sind aber nur die Typen Parylene N, Parylene C, Parylene D, F-VT4 und Parylene F-AF4.
Auf Parylene-Anlagen können alle diese Typen bei ähnlichen Parametern verarbeitet. Die Schichten haben auch ähnliche Eigenschaften. Wenn aber die bereits hervorragenden Eigenschaften des Parylene N hinsichtlich dielektrischer, thermischer und Barriere-Eigenschaften nicht ausreichen, könnendie alternativen Parylene-Typen eingesetzt werden.