Vakuumkammer

Durch eine Vakuumpumpe evakuierter gasdichter und druckfester Behälter, in dem sich Restgas unter geringem Druck befindet. Das Restgas können Luftreste auf Grund einer unvermeidlicher Leckrate oder auch über Dosierventile eingeleitete Gase unterschiedlichster Eigenschaft sein. Auch viele Substanzen, die unter normalen Atmosphärenbedingungen flüssig sind, können unter den sehr geringen Drücken gasförmig sein und als Gase in der Vakuumkammer vorliegen.

In Vakuumkammern können verschiedenste chemische und physikalische Reaktionen durchgeführt werden wie CVD-, PVD-Verfahren, Bedampfen, Sputtern und alle Niederdruck-Plasma-Prozesse (⇒ Plasmakammer).

Standard sind Kammern (Rezipienten) aus Edelstahl
Bei der Sonderanlage Bell Jar ist die Plasmakammer eine Glasglocke

Vakuumkammer aus Aluminium

Wir, das Unternehmen Diener electronic GmbH + Co. KG stellen nun bereits seit 25 Jahren Vakuumsysteme her. In dieser Zeit konnten wir sehr viele Erfahrungen und Wissen auf dem Gebiet der Vakuumtechnik sammeln. Dieses geballte Wissen lassen wir in unsere heutigen Produkte einfließen um sie immer besser zu machen. Wir hinterfragen dabei auch Dinge, die man „schon immer so gemacht hat" wie zum Beispiel den klassischen Aufbau einer Vakuumkammer.

Herausgekommen ist ein einzigartiges, flexibles Kammersystem, welches auf Aluminium- Strangpressprofilen basiert.

Vakuumkammern aus Aluminium

Vakuumkammer aus Aluminium , Modell 7
Vakuumkammer aus Aluminium , Modell 7
Vakuumkammer Modell 6
Vakuumkammer aus Aluminium
Vakuumkammer Modell 6
Vakuumkammer aus Aluminium
Vakuumkammer Modell 6
Vakuumkammer aus Aluminium
Rezipient Modell 2
Aluminiumkammer Vorderseite
Rezipient Modell 2 mit geöffneter Tür
Aluminiumkammer mit Tür
Rückseite des Rezipient mit KF-Anschlüssen
Aluminiumkammer Rückseite
Vakuumkammer Typ 3
Aluminiumkammer Vorderseite
Vakuumkammer Typ 3 mit geöffneter Türe
Aluminiumkammer mit Tür
Rückseite der Vakuumkammer mit KF-Anschlüssen
Aluminiumkammer Rückseite
Rezipient Modell 4
Aluminiumkammer Vorderseite
Rezipient Modell 4 mit geöffneter Tür
Aluminiumkammer mit Tür
Rückseite des Rezipient mit KF-Anschlüsse
Aluminiumkammer Rückseite
Flache Vakuumkammer Typ 5
Aluminiumkammer Vorderseite
geöffneter Rezipient Modell 5
Aluminiumkammer mit Tür
lange flache Vakuumkammer in der Seitenansicht
Aluminiumkammer Seitenansicht
Vakuumkammer Modell 1
Aluminiumkammer Vorderseite
Vakuumkammer Modell 1 mit geöffneter Türe
Aluminiumkammer mit Tür
Rückseite der Vakuumkammer mit KF-Anschlüssen
Aluminiumkammer Rückseite