Вакуумные насосы

Какой вакуумный насос чаще всего используется в плазменном оборудовании?

Вакуумные насосы служат для получения вакуума в приемнике плазменной установки.

В плазменном оборудовании чаще всего используются следующие вакуумные насосы:

1. Пластинчатые насосы

Пластинчатый насос состоит из корпуса, в котором эксцентрично вращается ротор. В последнем находятся подпружиненные пластины, которые прижимаются к внутренней стенке корпуса и скользят по ней. Газ, находящийся на стороне всасывания, сжимается, пока он не превысит давление окружающей среды и не откроется выпускной клапан на стороне нагнетания.

Насос работает в масляной ванне. Это имеет следующие преимущества:

  • Уплотнение на стороне всасывания и нагнетания
  • Уменьшение трения

Для наших стандартных установок особенно актуальны пластинчатые насосы. Чем больше насос, тем короче продолжительность процесса.

В случае работы с кислородом насосы должны быть к этому подготовлены. В корпусе насоса возникает масляный туман. При использовании минерального масла этот туман в сочетании с чистым кислородом взрывоопасен.

Есть две возможности решения этой проблемы:

1. Насосы наполняются ПФПЭ маслом. Это масло негорючее. Но у него есть ряд существенных недостатков.

  • ПФПЭ масло очень дорогое
  • ПФПЭ масло содержит фтор. Во время процессов плазменной обработки это масло может разлагаться и могут возникать крайне токсичные соединения (например, перфторизобутилен). Из-за этих соединений уже случались опасные аварии.
  • ПФПЭ масло необходимо утилизировать как специальные отходы.
Принцип действия пластинчатого насоса

2. Spülung

Die Pumpen werden mit Luft oder N2 gespült. Diese Lösung sollte bevorzugt werden. Falls bei den Prozessen die Gefahr besteht, dass giftige Verbindungen entstehen können, muss der Pumpe ein Filter nachgeschaltet werden. Dies ist z.B. bei allen Prozessen mit Tetrafluormethan der Fall.

Funktionsweise Luftspülung Vakuumpumpe

2. Насосы сухого хода для технологических процессов с использованием коррозионного газа

Здесь у нас сложились очень хорошие впечатления от так называемых «сухих винтовых насосов» компании Busch (например, модель Cobra) и Edwards.

3. Коловратные насосы (насосы Рутса)

Давление, которое может быть создано с помощью пластинчатого насоса, ограничено. Для усиления производительности всасывания рекомендуется использовать его в сочетании с коловратным насосом. Они образуют так называемый насосный агрегат. Типичная конфигурация формируется следующим образом:

1. Первый насос (например, пластинчатый насос) создает форвакуум. Его называют «форвакуумным насосом».

2. В качестве второго насоса используют коловратный насос.

Схематический разрез коловратного насоса
Функциональная схема коловратного насоса

Мы с радостью проконсультируем вас касательно того, какой насос лучше всего подходит для ваших процессов.