Вакуумные насосы

Какой вакуумный насос чаще всего используется в плазменном оборудовании?

Вакуумные насосы служат для получения вакуума в приемнике плазменной установки.

В плазменном оборудовании чаще всего используются следующие вакуумные насосы:

1. Пластинчатые насосы

Пластинчатый насос состоит из корпуса, в котором эксцентрично вращается ротор. В последнем находятся подпружиненные пластины, которые прижимаются к внутренней стенке корпуса и скользят по ней. Газ, находящийся на стороне всасывания, сжимается, пока он не превысит давление окружающей среды и не откроется выпускной клапан на стороне нагнетания.

Насос работает в масляной ванне. Это имеет следующие преимущества:

  • Уплотнение на стороне всасывания и нагнетания
  • Уменьшение трения

Для наших стандартных установок особенно актуальны пластинчатые насосы. Чем больше насос, тем короче продолжительность процесса.

В случае работы с кислородом насосы должны быть к этому подготовлены. В корпусе насоса возникает масляный туман. При использовании минерального масла этот туман в сочетании с чистым кислородом взрывоопасен.

Есть две возможности решения этой проблемы:

1. Насосы наполняются ПФПЭ маслом. Это масло негорючее. Но у него есть ряд существенных недостатков.

  • ПФПЭ масло очень дорогое
  • ПФПЭ масло содержит фтор. Во время процессов плазменной обработки это масло может разлагаться и могут возникать крайне токсичные соединения (например, перфторизобутилен). Из-за этих соединений уже случались опасные аварии.
  • ПФПЭ масло необходимо утилизировать как специальные отходы.
Принцип действия пластинчатого насоса

2. Насосы сухого хода для технологических процессов с использованием коррозионного газа

Здесь у нас сложились очень хорошие впечатления от так называемых «сухих винтовых насосов» компании Busch (например, модель Cobra) и Edwards.

3. Коловратные насосы (насосы Рутса)

Давление, которое может быть создано с помощью пластинчатого насоса, ограничено. Для усиления производительности всасывания рекомендуется использовать его в сочетании с коловратным насосом. Они образуют так называемый насосный агрегат. Типичная конфигурация формируется следующим образом:

1. Первый насос (например, пластинчатый насос) создает форвакуум. Его называют «форвакуумным насосом».

2. В качестве второго насоса используют коловратный насос.

Схематический разрез коловратного насоса
Функциональная схема коловратного насоса

Мы с радостью проконсультируем вас касательно того, какой насос лучше всего подходит для ваших процессов.