Подержанная плазменная установка Nano для разработки технологических процессов, очистки, активации, травления мелкими сериями — плазменные системы Diener

Плазменная установка Nano (подержанная)

Технические данные

Корпус: Ш 600 мм, В 2000 мм, Г 800 мм

Камера кварцевое стекло (сверхвысокой чистоты), дверь на шарнире: (прибл. ∅ 240 мм, Г 390 мм)

Объем камеры: прибл. 24 литра

Подвод газа: 2 газовых канала через игольчатые клапаны 12 газовых каналов через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 1 штука (2,45 кГц, 0–1500 Вт)

Управление: полуавтоматика