Yocto III

Плазменная установка Yocto III используется для 

  • Активация
  • Очистки

— преимущественным образом.

Позвоните нам, и мы с радостью проконсультируем вас. Тел.: 07458 - 99931-0

Базовая комплектация

  • Электропитание: 230 B

Подвод газа

  • Технологический газ через фильтр
  • Проток через клапан (не регулируется)
  • Вентиляция через фильтр

Вакуумная камера

  • Боросиликатное стекло (сверхвысокой чистоты) круглое с крышкой (прибл. ∅ 50 мм, Д 150 мм)

Электроды

  • Одна пара электродов за пределами вакуумной камеры

Система управления

  • Генератор для получения плазмы
  • 2-ступенчатый переключатель
  • Кнопка «пуск»
  • Выключатель питания

Генераторы

  • Частоты: 100 кГц: Мощность 0–30 Вт

Вакуумный насос

  • Встроен в корпус
  • Безмасляный
  • Производительность всасывания: 0,75 м3