Плазменная установка низкого давления Tetra 30 PC / PCCE

Плазменная система Tetra 30, установка для плазменной очистки, установка для плазменного озоления, установка для плазменного травления, плазменная активация
Плазменная система Tetra 30, установка для плазменной очистки, установка для плазменного озоления, установка для плазменного травления, плазменная активация

Плазменные системы Tetra 30 можно комбинировать в различных вариантах как в модульной системе. Ниже приводится обзор самых распространенных опций в сочетании с плазменными системами Tetra 30: Плазменные системы Tetra 30 преимущественным образом используются в следующих областях:

  • Аналитика (РЭМ, ПЭМ)
  • Археология
  • Автомобильная промышленность
  • Биотехнологии
  • Техника эластомеров
  • Электротехника
  • Электронная микроскопия
  • Точное приборостроение
  • Исследования и разработки
  • Полупроводниковая техника
  • Мелкосерийное производство
  • Техника пластмасс
  • Медицинская техника
  • Микросистемная техника
  • Технологии производства солнечных батарей
  • Текстильная техника

Позвоните нам, и мы с радостью проконсультируем вас. Тел.: 0 74 58/999 31-0

Проспект Tetra 30

Базовая комплектация

  • Размеры корпуса варьируются в зависимости от компонентов/опций
  • Объем камеры: в зависимости от версии 34–57 литров
  • Электропитание: 230 В или 400 В / 3 фазы

Подвод газа

  • Регуляторы массового расхода (РМР)

Вакуумная камера 

  • Нержавеющая сталь, прямоугольная, дверь на шарнире (прибл. Ш 305 мм x В 300 мм x Г 370 мм или 625 мм)

Загрузка

  • Поддоны для обрабатываемых деталей (опция: с водяным охлаждением), лодочки из кварцевого стекла, вращающийся барабан для порошка, вращающийся барабан для сыпучих материалов, лист алюминия, лист нержавеющей стали, боросиликатное стекло, кварцевое стекло

Электроды

  • В один или несколько ярусов
  • РИТ-электрод с газовым душем

Управление

  • Компьютерное управление на основе компактной встроенной технологии (PCCE) (Microsoft Windows CE)
  • Компьютерное управление (Microsoft Windows POS Ready 2009)

Измерение давления 

  • Пирани
  • Баратрон (для версии с использованием коррозионных газов)

Таймер

  • Цифровой

Генераторы

Частоты:40 кГц: Мощность 0–1000 Вт; 0–1500 Вт; 0–2500 Вт
13,56 МГц: Leistung Мощность 0–300 Вт; 0–600 Вт
2,45 ГГц: Мощность 0–600 Вт; 0–1200 Вт

Все генераторы регулируются бесступенчато от 0 до 100 %

Вакуумные насосы 

  • В различных размерах и от различных производителей (при необходимости с фильтром из активированного угля)

Дополнительные опции

Комплекты запасных частейприбор для измерения давлениямодификация для работы с коррозионным газом, газовые баллоны, редуктор давлениянагревательная панельиндикатор температурынагреваемая камеракамера Фарадеяпринадлежности для плазменной полимеризациитестовые чернилакислородный генератормедленная вентиляциямедленная откачкафланец — держатель образца ПЭМтехническое/сервисное обслуживаниедокументация на языке страны, в которую осуществляется поставка, установка на месте, включая обучение. Дополнительные опции по запросу.