Плазменная установка низкого давления Tetra 150 PC / PCCE

Плазменная установка Tetra 150 (пример)

Плазменные системы Tetra 150 можно комбинировать в различных вариантах как в модульной системе. Ниже приводится обзор самых распространенных опций в сочетании с плазменными системами Tetra 150: Плазменные системы Tetra 150 преимущественным образом используются в следующих областях:

  • Аналитика (РЭМ, ПЭМ)
  • Археология
  • Автомобильная промышленность
  • Биотехнологии
  • Техника эластомеров
  • Электротехника
  • Электронная микроскопия
  • Точное приборостроение
  • Исследования и разработки
  • Полупроводниковая техника
  • Мелкосерийное производство
  • Техника пластмасс
  • Медицинская техника
  • Микросистемная техника
  • Технологии производства солнечных батарей
  • Текстильная техника

Позвоните нам, и мы с радостью проконсультируем вас. Тел.: 0 74 58/999 31-0


Базовая комплектация 

  • Размеры корпуса варьируются в зависимости от компонентов/опций
  • Объем камеры: в зависимости от версии 150 литров
  • Электропитание: 230 В или 400 В / 3 фазы

Подвод газа

  • Регуляторы массового расхода (РМР)

Вакуумная камера

  • Нержавеющая сталь, прямоугольная, дверь на шарнире (прибл. Ш 400 мм x В 600 мм x Г 625 мм)

Загрузка 

  • Поддоны для обрабатываемых деталей (опция: с водяным охлаждением), лодочки из кварцевого стекла, вращающийся барабан для порошка, вращающийся барабан для сыпучих материалов, лист алюминия, лист нержавеющей стали, боросиликатное стекло, кварцевое стекло

Электроды

  • В один или несколько ярусов
  • РИТ-электрод с газовым душем

Управление

  • Компьютерное управление на основе компактной встроенной технологии (PCCE) (Microsoft Windows CE)
  • Компьютерное управление (Microsoft Windows POS Ready 2009)

Измерение давления

  • Пирани
  • Баратрон (для версии с использованием коррозионных газов)

Таймер

  • Цифровой

Генераторы 

Частоты:40 кГц: Мощность 0–1000 Вт; 0–1500 Вт; 0–2500 Вт
13,56 МГц: Мощность 0–300 Вт; 0–600 Вт; 0–1000 Вт
2,45 ГГц: Мощность 0–1200 Вт

Все генераторы регулируются бесступенчато от 0 до 100 %

Вакуумные насосы

  • В различных размерах и от различных производителей (при необходимости с фильтром из активированного угля)

Дополнительные опции

Комплекты запасных частейприбор для измерения давлениямодификация для работы с коррозионным газом, газовые баллоны, редуктор давлениянагревательная панельиндикатор температурынагреваемая камеракамера Фарадеяпринадлежности для плазменной полимеризациитестовые чернилакислородный генератормедленная вентиляциямедленная откачкафланец — держатель образца ПЭМтехническое/сервисное обслуживаниедокументация на языке страны, в которую осуществляется поставка, установка на месте, включая обучение. Дополнительные опции по запросу.