Специальные установки

Нанесение покрытий на проволоку/нитки и очистка/активация проволоки/ниток с помощью плазмы

Плазменная установка типа «с рулона на рулон» Tetra-2-PC разработана для нанесения покрытий на волокна, нитки и проволоку и оснащена устройством типа «с рулона на рулон».

Специальная плазменная установка Tetra-6-PC, с рулона на рулон

Технические данные:

Корпус: Ш 3491 мм, В 1000 мм, Г 1278 мм

Камера: Д 1050 мм, ∅ 90 мм

Объем камеры: прибл. 6 литра

Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Автоматизация: с рулона на рулон

Наверх

Gefördert durch: Bundesministerium für Wirtschaft und Energie aufgrund eines Beschlusses des Deutschen Bundestages

Плазменная установка Tetra-15 разработана для ионного распыления (технология нанесения покрытий в высоком вакууме), а также для метода очистки с целью подготовки сверхчистых поверхностей.

Специальная плазменная установка Tetra-15-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 1700 мм, Г 800 мм

Камера: Ш 360 мм, В 150 мм, Г 260 мм

Объем камеры: прибл. 15 литров

Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Короткоцикловая установка Tetra-30-LF-PC

Короткоцикловая установка может хорошо интегрироваться в имеющуюся производственную линию. Кроме того, полностью автоматизированная короткоцикловая установка позволит не допустить возможных ошибок оператора.

Специальная плазменная установка Tetra-30-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 800 мм, В 600 мм, Г 500 мм

Камера: Ш 240 мм, В 150 мм, Г 240 мм

Подвод газа: 1 газовый канал через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Автоматизация: Установка может быть интегрирована в производственную линию.

Данная установка также поставляется в виде набора комплектующих

Производственная установка Tetra 100 с объемом камеры 100 литров, компьютерным управлением и полностью автоматической дверью используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).

Специальная плазменная установка Tetra-100-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 2000 мм, В 2200 мм, Г 2000 мм

Камера: Ш 700 мм, В 200 мм, Г 700 мм

Объем камеры: рибл. 100 литров

Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Автоматизация: Установка имеет выдвижную дверь

Tetra-120-LF-PC

Производственная установка Tetra-120 с объемом камеры 120 литров, компьютерным управлением и полностью автоматической дверью используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).

Специальная плазменная установка Tetra-120-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2150 мм, Г 1000 мм

Камера: Ш 1200 мм, В 150 мм, Г 700 мм

Объем камеры: прибл. 120 литров

Подвод газа: 4 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Автоматизация: Установка имеет автоматическую дверь

Производственная установка Tetra-130 с объемом камеры 130 литров и компьютерным управлением используется для очистки медицинских компонентов и нанесения покрытий на них.

Специальная плазменная установка Tetra-130-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 1800 мм, В 2100 мм, Г 1300 мм

Камера: Ш 400 мм, В 400 мм, Г 810 мм

Объем камеры: прибл. 130 литров

Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР) (из них 1х через барботер) 1 газовый канал мономер через 2/2-ходовой клапан

Генератор: 1 штука (13,56 МГц) (в виде опции: 40 кГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Свойства: Диапазон сверхвысокого вакуума с турбонасосом

Производственная установка Tetra 140 с объемом камеры 140 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление, активация и плазменная полимеризация).

Специальная плазменная установка Tetra-140-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2100 мм, Г 650 мм

Камера: Ш 600 мм, В 400 мм, Г 600 мм

Объем камеры: прибл. 140 литров

Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Sonder-Plasmacleaner Tetra-140
Die Produktionsanlage Tetra-140 mit ihren 140 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen, Aktivieren und Plasmapolymerisation) zum Einsatz.

Sonder-Plasmaanlage Tetra-140-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 1000 mm, H 1800 mm, T 1000 mm

Kammer: B 1000 mm, H 100 mm, T 1400 mm

Kammervolumen: ca. 140 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs, Flüssigmonomerdosierung für Plasmapolymerisation

Generator: 1 Stück (40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Sonder-Plasmaanlage Tetra-150
Die Produktionsanlage Tetra-150 mit ihren 150 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt bevorzugt im Bereich der Textilbeschichtung zm Einsatz.
Plasmakammer Soneranlage Tetra 150

Sonder-Plasmaanlage Tetra-150-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 1000 mm, H 2100 mm, T 1000 mm

Kammer: B 400 mm, H 600 mm, T 625 mm

Kammervolumen: ca. 150 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 1 Stück (40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Automatisierung: Rolle-zu-Rolle mit 400 mm Breite und 300 mm Durchmesser

Производственная установка Tetra-185 с объемом камеры 185 литров и компьютерным управлением используется преимущественно при изготовлении печатных плат.

Специальная плазменная установка Tetra-185-LF-PC Desmearing

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2100 мм, Г 1000 мм

Камера: Ш 400 мм, В 665 мм, Г 700 мм

Объем камеры: прибл. 185 литров

Подвод газа: 4 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Свойства:

  • Обезжиривание разл. материалов (очистка стенок просверленных отверстий)
  • Очистка поверхности
  • Активация металлических поверхностей
  • 7 выдвижных элементов для 7 одновременно обрабатываемых плат
  • Заготовки до 460 x 610 мм
Производственная установка Tetra-185 с объемом камеры 185 литров и компьютерным управлением используется преимущественно при изготовлении печатных плат.

Специальная плазменная установка Tetra-185-PCB — Desmearing

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2100 мм, Г 1000 мм

Камера: Ш 400 мм, В 665 мм, Г 700 мм

Объем камеры: прибл. 185 литров

Подвод газа: 4 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 1 штука (80 кГц)

Управление: полное компьютерное управление

Свойства:

  • Обезжиривание разл. материалов (очистка стенок просверленных отверстий)
  • Очистка поверхности
  • Активация металлических поверхностей
  • 7 выдвижных элементов для 7 одновременно обрабатываемых плат размерами макс. 460 x 610 мм или 14 печатных плат размерами макс. 230 x 305 мм 
Производственная установка Tetra-210 с объемом камеры 210 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка и нанесение покрытий).

Специальная плазменная установка Tetra-210-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 1560 мм, В 2350 мм, Г 1860 мм

Камера: Ш 600 мм, В 600 мм, Г 600 мм

Объем камеры: прибл. 210 литров

Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 1 штука импульсный генератор 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Sonder-Plasmaanlage Tetra-216-LF-PC

Sonder-Plasmaanlage Tetra-216-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 600 mm, H 1700 mm, T 800 mm

Kammer: B 600 mm, H 600 mm, T 620 mm

Kammervolumen: ca. 216 Liter

Gaszuführung: 5 Gaskanäle über MFCs

Generator: 1 Stück (je 80 kHz) 

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus 

Производственная установка Tetra-240 с объемом камеры 240 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).

Специальная плазменная установка Tetra-240-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 1700 мм, Г 3200 мм

Камера: Ш 305 мм, В 300 мм, Г 2600 мм

Объем камеры: прибл. 240 литров

Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Производственная установка Tetra-260 с объемом камеры 260 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).

Специальная плазменная установка Tetra-260-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 2500 мм, В 2200 мм, Г 1000 мм

Камера: Ш 650 мм, В 500 мм, Г 800 мм

Объем камеры: прибл. 260 литров

Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 10 штук (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Sonder-Plasmaanlage Tetra-330-LF-PC

Sonder-Plasmaanlage Tetra-330-LF-PC

Technische Daten:

Schaltschrank: B 1200 mm, H 1800 mm, T 1800 mm

Kammer: B 530 mm, H 700 mm, T 900 mm

Kammervolumen: ca. 330 Liter

Gaszuführung: 4 Gaskanäle über MFCs

Generator: 1 Stück (je 80 kHz) 

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus 

Plasmaanlage Rolle zu Rolle

Tetra 375 Rolle/Rolle

Gehäuse mit Schaltschrank B 3150mm, H 2200mm, T 1800mm

Kammer: B 1500mm, H 1000mm, T 250mm

Gas: 3 X Gas 1 X Ozon

Generator 5000

Steuerung : PC- Steuerung

Rolle Rolle Anlage für zwei getrennte Rollen zur Unabhängigen Bearbeitung.

Производственная установка Tetra-375 с объемом камеры 375 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).

Специальная плазменная установка Tetra-375-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2100 мм, Г 800 мм

Камера: Ш 600 мм, В 360 мм, Г 1900 мм

Объем камеры: прибл. 375 литров

Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Производственная установка Tetra-400 с объемом камеры 400 литров, компьютерным управлением и полностью автоматической сдвижной дверью используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).

Специальная плазменная установка Tetra-400-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2100 мм, Г 650 мм

Камера: Ш 915 мм, В 750 мм, Г 725 мм

Объем камеры: прибл. 400 литров

Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Автоматизация: Установка имеет автоматическую сдвижную дверь

Производственная установка Tetra-420 с объемом камеры 420 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация). Данная установка используется, в частности, для обезжиривания печатных плат.

Специальная плазменная установка Tetra-420-LF-PC-PCB

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 1600 мм, В 2100 мм, Г 1200 мм

Камера: Ш 750 мм, В 800 мм, Г 750 мм

Объем камеры: прибл. 420 литров

Подвод газа: 4 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 4 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Специальная установка типа «с рулона на рулон» Tetra-500 с объемом камеры 500 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация, например, пленок).

Специальная плазменная установка Tetra-500-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2100 мм, Г 800 мм

Камера: Ш 1500 мм, В 1700 мм, Г 200 мм

Объем камеры: прибл. 500 литров

Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Держатель образца: 2 системы типа «с рулона на рулон»

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Tetra-575-LF-PC

Специальная установка Tetra-575 с объемом камеры 575 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление, активация и нанесение покрытий).

Специальная плазменная установка Tetra-575-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 1150 мм, В 1900 мм, Г 1600 мм

Камера: Ш 600 мм, В 1200 мм, Г 800 мм

Объем камеры: прибл. 575 литров

Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Держатель образца: 22 яруса / поддона для обрабатываемых деталей (варьируется)

Управление: компьютерное управление (Windows)

Производственная установка Tetra-600 с объемом камеры 600 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).

Специальная плазменная установка Tetra-600-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2200 мм, Г 1200 мм

Камера: Ш 810 мм, В 810 мм, Г 925 мм

Объем камеры: прибл. 600 литров

Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Производственная установка Tetra-600 с объемом камеры 600 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).

Специальная плазменная установка Tetra-600-LF-PC

Версия 1

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2200 мм, Г 800 мм

Камера: Ш 1000 мм, В 1000 мм, Г 600 мм

Объем камеры: прибл. 600 литров

Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Автоматизация: 11 ярусов / поддонов для обрабатываемых деталей

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Производственная установка Tetra-600 с объемом камеры 600 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).

Специальная плазменная установка Tetra-600-LF-PC

Версия 2

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 1800 мм, В 1800 мм, Г 800 мм

Камера: Ш 580 мм, В 730 мм, Г 1000 мм Дверь с 2 смотровыми стеклами

Объем камеры:  прибл. 600 литров

Подвод газа:2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 1 штука, автоматическое согласование

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Производственная установка Tetra-600 с объемом камеры 600 литров, компьютерным управлением и вращающимся барабаном используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).

Специальная плазменная установка Tetra-600-LF-PC с вращающимся барабаном

Версия 1

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2200 мм, Г 800 мм

Камера: ∅ 1100 мм, Г 700 мм

Объем камеры: прибл. 600 литров

Подвод газа2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 2 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Держатель образца: Вращающийся барабан (с 4 корзинами объемом по 30 литров)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Производственная установка Tetra-800 с объемом камеры 800 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление).

Специальная плазменная установка Tetra-800-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 1800 мм, Г 800 мм

Камера: Ш 1250 мм, В 550 мм, Г 1120 мм

Объем камеры: прибл. 800 литров

Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 1 штука (40 кГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Производственная установка Tetra-810 с объемом камеры 810 литров и компьютерным управлением используется для активации карбоновых волокон / композитов.

Специальная плазменная установка Tetra-810-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 1200 мм, В 2200 мм, Г 2000 мм

Камера: Ш 900 мм, В 1100 мм, Г 900 мм

Объем камеры: прибл. 810 литров

Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 1 штука (80 кГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Производственная установка Tetra-850 с объемом камеры 850 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, активация).

Специальная плазменная установка Tetra-850-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 1500 мм, В 2000 мм, Г 800 мм

Камера: Ш 1300 мм, В 1800 мм, Г 400

Объем камеры: прибл. 850 литров

Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 1 штука (40 кГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Производственная установка Tetra-1200 с объемом камеры 1200 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, активация).

Специальная плазменная установка Tetra-1200-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 1000 мм, В 1000 мм, Г 1800 мм

Камера: Ш 600 мм, В 1000 мм, Г 2000 мм

Объем камеры: прибл. 1200 литров

Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 3 штуки (по 40 кГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Производственная установка Tetra-1600 с объемом камеры 1600 литров используется для вакуумной сушки.

Специальная вакуумная установка Tetra-1600

Технические данные:

Камера: Ш 900 мм, В 700 мм, Г 2600 мм

Объем камеры: прибл. 1600 литров

Производственная установка Tetra-2000 с объемом камеры 2000 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, активация).

Специальная плазменная установка Tetra-2000-RF-PC

Технические данные:

Камера: Ш 1000 мм, В 2000 мм, Г 1000 мм

Объем камеры: прибл. 2000 литров

Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 1 штука (13,56 МГц)

Держатель образца: до 10 поддонов для обрабатываемых деталей

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Производственная установка Tetra-2400 с объемом камеры 2400 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).

Специальная плазменная установка Tetra-2400-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2200 мм, Г 800 мм

Камера: ∅ 1100 мм, Г 2500 мм

Объем камеры: прибл. 2400 литров

Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 4 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Держатель образца: Вращающийся барабан (с 16 корзинами объемом по 30 литров)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Tetra-2800-LF-PC

Производственная установка Tetra-2800 с объемом камеры 2800 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).

Специальная плазменная установка Tetra-2800-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 1700 мм, Г 800 мм

Камера: ∅ 1200 мм, Г 2500 мм

Объем камеры: прибл. 2800 литров

Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 1 штука (40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Sonder-Plasmaanlage Tetra-3600

Sonder-Plasmaanlage Tetra-3600

Technische Daten:

Schaltschrank/Kammer: L 450 mm, H 210 mm, B 170 mm

Kammervolumen: ca. 3600 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanal über MFCs

Generator: 3 Stück (80 kHz) (5KW) Suaerstoffgenerator

Steuerung: Full PC-Steuerung (Windows)- Schwenkarm 

Schubladensystem: Ausziehbarer Warenträger

Производственная установка Tetra-4400 с объемом камеры 4400 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).

Специальная плазменная установка Tetra-4400-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 1800 мм, В 1000 мм, Г 800 мм

Камера: Д 1350 мм, Г 1250 мм, В 2600 мм

Объем камеры: прибл. 4400 литров

Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 4 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Свойства: кислородный генератор, плазменный источник очистки для насосов Рутса

Производственная установка Tetra-5600 с объемом камеры 5600 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).

Специальная плазменная установка Tetra-5600-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 1800 мм, В 2200 мм, Г 1800 мм

Камера: Ш 2250 мм, В 2450 мм, Г 1000 мм

Объем камеры: прибл. 5600 литров

Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 6 штук (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Держатель образца: Загрузка с помощью тележек (в виде опции: специальный барабан)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Sonder-Plasmaanlage Tetra-7000-LF-PC

Производственная установка Tetra-7000 с системой типа «с рулона на рулон», объемом камеры 7000 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление, активация и нанесение покрытий).

Специальная плазменная установка Tetra-7000-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 2400 мм, В 2300 мм, Г 1000 мм

Камера: Ш 2400 мм, В 2100 мм, Г 1400 мм

Объем камеры: прибл. 7000 литров

Подвод газа: 3 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 4 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Производственная установка Tetra-7300 с объемом камеры 7300 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).

Специальная плазменная установка Tetra-7300-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 600 мм, В 2100 мм, Г 1200 мм

Камера: Ш 1400 мм, В 2100 мм, Г 2500 мм

Объем камеры: прибл. 7300 литров

Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 3 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Производственная установка Tetra-7500 с объемом камеры 7500 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).

Специальная плазменная установка Tetra-7500-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 3000 мм, В 2000 мм, Г 1000 мм

Камера: Ш 1500 мм, Г 2000 мм, В 2500 мм

Объем камеры: прибл. 7500 литров

Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 6 штук (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Производственная установка Tetra-8000 LF-PC с объемом камеры 8000 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, травление и активация).

Специальная плазменная установка Tetra-8000-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 2000 мм, В 1800 мм, Г 1000 мм

Камера: Ш 1700 мм, Г 2800 мм, В 1700 мм

Объем камеры: прибл. 8000 литров

Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 4 штуки (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus

Производственная установка Tetra-12600 с объемом камеры 12.600 литров и компьютерным управлением используется в серийном производстве (очистка, активация).

Специальная плазменная установка Tetra-12 600-LF-PC

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 1200 мм, В 2200 мм, Г 800 мм

Камера: Ш 2400 мм, В 2100 мм, Г 2500 мм

Объем камеры: прибл. 12 600 литров

Подвод газа: 2 газовых канала через регуляторы массового расхода (РМР)

Генератор: 6 штук (по 40 кГц) (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Держатель образца: загрузка с помощью тележек

Управление: компьютерное управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus