Плазменная установка низкого давления Pico

Плазменная установка Pico, установка для плазменной очистки, установка для плазменного озоления, установка для плазменного травления, плазменная активация
Плазменная система Pico, установка для плазменной очистки, установка для плазменного озоления, установка для плазменного травления, плазменная активация
Плазменная система Pico для разработки технологических процессов, очистки, активации, травления мелкими сериями — плазменные системы Diener
Плазменная система Pico, установка для плазменной очистки, установка для плазменного озоления, установка для плазменного травления, плазменная активация
Плазменная установка Pico, установка для плазменной очистки, установка для плазменного озоления, установка для плазменного травления, плазменная активация
Плазменная установка Pico, установка для плазменной очистки, установка для плазменного озоления, установка для плазменного травления, плазменная активация

Плазменные установки Pico можно комбинировать в различных вариантах, например, в модульной системе. Ниже приводится обзор самых распространенных опций в сочетании с плазменными системами Pico. Плазменные системы Pico преимущественным образом используются в следующих областях:

  • Аналитика (РЭМ, ПЭМ)
  • Археология
  • Автомобильная промышленность
  • Отделы исследований и разработок
  • Полупроводниковая техника
  • Мелкосерийное производство
  • Техника пластмасс
  • Медицинская техника
  • Микросистемная техника
  • Сенсорная техника
  • Стерилизация
  • Текстильная техника

Позвоните нам, и мы с радостью проконсультируем вас. Тел.: 0 74 58/999 31-0

Базовая комплектация

  • Размеры корпуса варьируются в зависимости от компонентов / опций
  • Объем камеры: в зависимости от версии 4–15 литров
  • Электропитание: 230 В для настольного прибора, 400 В / 3 фазы для напольного прибора

Подвод газа

  • Игольчатые клапаны
  • Регуляторы массового расхода (РМР)

Вакуумные камеры

  • Нержавеющая сталь, круглая с крышкой (прибл. ∅ 150 мм, Д 320 мм или Д 600 мм) или
  • Нержавеющая сталь, прямоугольная, дверь на шарнире (прибл. Ш 160 мм x В 160 мм x Г 325 мм или 600 мм)
  • Алюминий, круглая, с крышкой или дверью на шарнире (прибл. ∅ 130 мм, Д 300 мм или Д 600 мм)
  • Кварцевое стекло (сверхвысокой чистоты), круглая с крышкой или дверью на шарнире  (прибл. ∅ 130 мм, Д 300 мм или Д 600 мм)
  • Боросиликатное стекло (сверхвысокой чистоты), круглая с крышкой или дверью на шарнире (прибл. ∅ 130 мм, Д 300 мм или Д 600 мм)

Загрузка

  • Поддоны для обрабатываемых деталей (опция: с водяным охлаждением), лодочки из кварцевого стекла, вращающийся барабан для порошка, вращающийся барабан для сыпучих материалов, лист алюминия, лист нержавеющей стали, боросиликатное стекло, кварцевое стекло{1}

Электроды

  • В один или несколько ярусов
  • РИТ

Управление

  • Полуавтоматика
  • Компьютерное управление на основе компактной встроенной технологии (PCCE)  (Microsoft Windows CE)
  • Компьютерное управление (Microsoft Windows POS Ready 2009)

Измерение давления

  • Пирани
  • Баратрон (для версии с использованием коррозионных газов)

Таймер

  • Цифровой

Генераторы

Частоты:40 кГц: Мощность 0–200 Вт; 0–1000 Вт
13,56 МГц: Мощность 0–50 Вт; 0–100 Вт; 0–300 Вт
2,45 ГГц: Мощность 0–300 Вт

Все генераторы регулируются бесступенчато от 0 до 100 %

Вакуумные насосы

  • В различных размерах и от различных производителей (при необходимости с фильтром из активированного угля)

Дополнительные опции

Комплекты запасных частей , прибор для измерения давления, модификация для работы с коррозионным газом, газовые баллоны, редуктор давления, нагревательная панель, индикатор температуры, нагреваемая камера, камера Фарадея, принадлежности для плазменной полимеризации, тестовые чернила, кислородный генератор, медленная вентиляция, медленная откачка, фланец — держатель образца ПЭМ, ехническое/сервисное обслуживание, документация на языке страны, в которую осуществляется поставка, установка на месте, включая обучение. Дополнительные опции по запросу.