Плазменная установка низкого давления Nano

Плазменная установка Nano, установка для плазменной очистки, установка для плазменного озоления, установка для плазменного травления, плазменная активация
Плазменная система Nano для разработки технологических процессов, очистки, активации, травления мелкими сериями — плазменные установки Diener, установка для плазменной очистки
Плазменная установка Nano, установка для плазменной очистки, установка для плазменного озоления, установка для плазменного травления, плазменная активация
Плазменная система Nano для разработки технологических процессов, очистки, активации, травления мелкими сериями — плазменные установки Diener
Плазменная система Nano, установка для плазменной очистки, установка для плазменного озоления, установка для плазменного травления, плазменная активация
Плазменная установка Nano, установка для плазменной очистки, установка для плазменного озоления, установка для плазменного травления, плазменная активация

Плазменные системы Nano можно комбинировать в различных вариантах как в модульной системе. Ниже приводится обзор самых распространенных опций в сочетании с плазменными системами Nano: Плазменные системы Nano преимущественным образом используются в следующих областях:

  • Аналитика
  • Археология
  • Автомобильная промышленность
  • Отделы исследований и разработок
  • Полупроводниковая техника
  • Мелкосерийное производство
  • Техника пластмасс
  • Медицинская техника
  • Микросистемная техника
  • Сенсорная техника
  • Стерилизация
  • Текстильная техника

Позвоните нам, и мы с радостью проконсультируем вас. Тел.: 0 74 58/999 31-0

Базовая комплектация

  • Размеры корпуса варьируются в зависимости от компонентов / опций
  • Объем камеры: в зависимости от версии 18–36 литров
  • Электропитание: 230 В для настольного прибора, 400 В / 3 фазы для напольного прибора

Подвод газа

  • Игольчатые клапаны
  • Регуляторы массового расхода (РМР)

Вакуумные камеры

  • Нержавеющая сталь, круглая с крышкой (прибл. ∅ 267 мм, Д 420 мм или Д 600 мм) или
  • Нержавеющая сталь, прямоугольная, дверь на шарнире (прибл. Ш 240 мм x В 240 мм x Г 420 мм или 600 мм)
  • Алюминий, круглая, с крышкой или дверью на шарнире (прибл. ∅ 240 мм, Д 400 мм или Д 600 мм)
  • Кварцевое стекло (сверхвысокой чистоты), круглая с крышкой или дверью на шарнире  (прибл. ∅ 240 мм, Д 400 мм или Д 600 мм)
  • Боросиликатное стекло (сверхвысокой чистоты), круглая с крышкой или дверью на шарнире прибл. ∅ 240 мм, Д 400 мм или Д 600 мм)

Загрузка

  • Поддоны для обрабатываемых деталей (опция: с водяным охлаждением), лодочки из кварцевого стекла, вращающийся барабан для порошка, вращающийся барабан для сыпучих материалов, лист алюминия, лист нержавеющей стали, боросиликатное стекло, кварцевое стекло

Электроды

  • В один или несколько ярусов
  • РИТ

Управление

  • Полуавтоматика
  • Компьютерное управление на основе компактной встроенной технологии (PCCE)  (Microsoft Windows CE)
  • Компьютерное управление (Microsoft Windows POS Ready 2009)

Измерение давления

  • Пирани
  • Баратрон (для версии с использованием коррозионных газов)

Таймер

  • Цифровой

Генераторы

Частоты:40 кГц: Мощность 0–300 Вт; 0–1000 Вт
13,56 МГц: Мощность 0–100 Вт; 0–300 Вт
2,45 ГГц: Мощность 0–600 Вт

Все генераторы регулируются бесступенчато от 0 до 100 %

Вакуумные насосы

  • В различных размерах и от различных производителей (при необходимости с фильтром из активированного угля)

Дополнительные опции

Комплекты запасных частейприбор для измерения давлениямодификация для работы с коррозионным газом, газовые баллоны, редуктор давлениянагревательная панельиндикатор температурынагреваемая камеракамера Фарадеяпринадлежности для плазменной полимеризациитестовые чернилакислородный генератормедленная вентиляциямедленная откачкафланец — держатель образца ПЭМтехническое/сервисное обслуживаниедокументация на языке страны, в которую осуществляется поставка, установка на месте, включая обучение. Дополнительные опции по запросу.