Плазменные системы Nano можно комбинировать в различных вариантах как в модульной системе. Ниже приводится обзор самых распространенных опций в сочетании с плазменными системами Nano: Плазменные системы Nano преимущественным образом используются в следующих областях:
- Аналитика
- Археология
- Автомобильная промышленность
- Отделы исследований и разработок
- Полупроводниковая техника
- Мелкосерийное производство
- Техника пластмасс
- Медицинская техника
- Микросистемная техника
- Сенсорная техника
- Стерилизация
- Текстильная техника
Позвоните нам, и мы с радостью проконсультируем вас. Тел.: 0 74 58/999 31-0
Базовая комплектация
- Размеры корпуса варьируются в зависимости от компонентов / опций
- Объем камеры: в зависимости от версии 18–36 литров
- Электропитание: 230 В для настольного прибора, 400 В / 3 фазы для напольного прибора
Подвод газа
- Игольчатые клапаны
- Регуляторы массового расхода (РМР)
Вакуумные камеры
- Нержавеющая сталь, круглая с крышкой (прибл. ∅ 267 мм, Д 420 мм или Д 600 мм) или
- Нержавеющая сталь, прямоугольная, дверь на шарнире (прибл. Ш 240 мм x В 240 мм x Г 420 мм или 600 мм)
- Алюминий, круглая, с крышкой или дверью на шарнире (прибл. ∅ 240 мм, Д 400 мм или Д 600 мм)
- Кварцевое стекло (сверхвысокой чистоты), круглая с крышкой или дверью на шарнире (прибл. ∅ 240 мм, Д 400 мм или Д 600 мм)
- Боросиликатное стекло (сверхвысокой чистоты), круглая с крышкой или дверью на шарнире прибл. ∅ 240 мм, Д 400 мм или Д 600 мм)
Загрузка
- Поддоны для обрабатываемых деталей (опция: с водяным охлаждением), лодочки из кварцевого стекла, вращающийся барабан для порошка, вращающийся барабан для сыпучих материалов, лист алюминия, лист нержавеющей стали, боросиликатное стекло, кварцевое стекло
Электроды
- В один или несколько ярусов
- РИТ
Управление
- Полуавтоматика
- Компьютерное управление на основе компактной встроенной технологии (PCCE) (Microsoft Windows CE)
- Компьютерное управление (Microsoft Windows POS Ready 2009)
Измерение давления
- Пирани
- Баратрон (для версии с использованием коррозионных газов)
Таймер
- Цифровой
Генераторы
| Частоты: | 40 кГц: Мощность 0–300 Вт; 0–1000 Вт |
| 13,56 МГц: Мощность 0–100 Вт; 0–300 Вт | |
| 2,45 ГГц: Мощность 0–600 Вт |
Все генераторы регулируются бесступенчато от 0 до 100 %
Вакуумные насосы
- В различных размерах и от различных производителей (при необходимости с фильтром из активированного угля)
Дополнительные опции
Комплекты запасных частей, прибор для измерения давления, модификация для работы с коррозионным газом, газовые баллоны, редуктор давления, нагревательная панель, индикатор температуры, нагреваемая камера, камера Фарадея, принадлежности для плазменной полимеризации, тестовые чернила, кислородный генератор, медленная вентиляция, медленная откачка, фланец — держатель образца ПЭМ, техническое/сервисное обслуживание, документация на языке страны, в которую осуществляется поставка, установка на месте, включая обучение. Дополнительные опции по запросу.