Плазменная установка низкого давления (установка для плазменной очистки) Femto

Bei diesem Bild handelt es sich um eine 360°-Aufnahme. Durch klicken und ziehen mit der Maus sowie benutzen der Steuerelemente lässt sich das Bild beliebig drehen und vergrößern. Aufgrund der hohen Datenmenge kann sich unter Umständen eine kleine Ladeverzögerung einstellen.

Плазменная установка Femto для разработки технологических процессов, установка для плазменной очистки, установка для плазменного озоления, установка для плазменного травления, плазменная активация, фемтонаука
Плазменная установка Femto с дверью на шарнире для разработки процессов, очистки, активации, травления мелкими сериями — плазменные установки Diener
Плазменная установка Femto, установка для плазменной очистки, установка для плазменного озоления, установка для плазменного травления, плазменная активация
Плазменная система Femto, установка для плазменной очистки, установка для плазменного озоления, установка для плазменного травления, плазменная активация
Плазменная установка Femto, установка для плазменной очистки, установка для плазменного озоления, установка для плазменного травления, плазменная активация, фемтонаука
Плазменная система Femto для разработки технологических процессов, очистки, активации, травления мелкими сериями — плазменная установка Diener
Плазменная установка Femto, установка для плазменной очистки, установка для плазменного озоления, установка для плазменного травления, плазменная активация

Плазменные системы Femto можно комбинировать в различных вариантах как в модульной системе. Ниже приводится обзор самых распространенных опций в сочетании с плазменными системами Femto. Плазменные системы Femto преимущественным образом используются в следующих областях:

  • Аналитика
  • Археология
  • Автомобильная промышленность
  • Отделы исследований и разработок
  • Полупроводниковая техника
  • Мелкосерийное производство
  • Техника пластмасс
  • Медицинская техника
  • Микросистемная техника
  • Сенсорная техника
  • Стерилизация
  • Текстильная техника

Позвоните нам, и мы с радостью проконсультируем вас. Тел.: 0 74 58/999 31-0

 

Базовая комплектация

  • Корпусы варьируются в зависимости от компонентов / опций
  • Объем камеры: в зависимости от версии 1,9–6 литров
  • Электропитание: 230 В для настольного прибора, 400 В / 3 фазы для напольного прибора

Подвод газа

  • Игольчатые клапаны
  • Регуляторы массового расхода (РМР)

Вакуумные камеры

  • Нержавеющая сталь, круглая с крышкой (прибл. ∅ 100 мм, Д 278 мм или Д 600 мм)
  • Нержавеющая сталь, прямоугольная, дверь на шарнире (прибл. Ш 103 x Г 285 x В 103)
  • Алюминий, круглая, с крышкой или дверью на шарнире (прибл. ∅ 95 мм, Д 280 мм или Д 600 мм)
  • Кварцевое стекло (сверхвысокой чистоты), круглая с крышкой или дверью на шарнире (прибл.{2}∅ 95 мм, Д 280 мм или Д 600 мм)
  • Боросиликатное стекло (сверхвысокой чистоты), круглая с крышкой или дверью на шарнире (прибл.{2}∅ 95 мм, Д 280 мм или Д 600 мм)

Загрузка

  • Поддоны для обрабатываемых деталей (опция: с водяным охлаждением), лодочки из кварцевого стекла, вращающийся барабан для порошка, вращающийся барабан для сыпучих материалов, лист алюминия, лист нержавеющей стали, боросиликатное стекло, кварцевое стекло

Электроды

  • В один или несколько ярусов
  • РИТ

Управление

  • Полуавтоматика
  • Компьютерное управление на основе компактной встроенной технологии (PCCE) (Microsoft Windows CE)
  • Компьютерное управление (Microsoft Windows POS Ready 2009

Измерение давления

  • Пирани
  • Баратрон (для версии с использованием коррозионных газов)

Таймер

  • Цифровой 

Генераторы

Частоты:40 кГц: Мощность 0–100 Вт; 0–1000 Вт
13,56 МГц; Мощность 0–50 Вт; 0–300 Вт
12,45: ГГц Мощность 0–100 Вт; 0–300 Вт

Все генераторы регулируются бесступенчато от 0 до 100 %

Вакуумные насосы

  • В различных размерах и от различных производителей (при необходимости с фильтром из активированного угля)

Дополнительные опции

Комплекты запасных частей, прибор для измерения давления, модификация для работы с коррозионным газом, газовые баллоны, редуктор давления, нагревательная панель, индикатор температуры, нагреваемая камераKammer, камера Фарадея, принадлежности для плазменной полимеризации, тестовые чернила, кислородный генератор, медленная вентиляция, медленная откачка, фланец — держатель образца ПЭМ, техническое/сервисное обслуживание, документация на языке страны, в которую осуществляется поставка, установка на месте, включая обучение. Дополнительные опции по запросу.