Научно-исследовательская установка плазменная система Bell Jar 35

Колпак Bell Jar 35 в работе
Научно-исследовательская установка Bell Jar 35

Плазменная установка Bell Jar 35 является научно-исследовательской установкой, разработанной для научных экспериментов. Установка пригодна как для термического испарения, ионного распыления, электронно-лучевого испарения, металлических покрытий для подготовки образцов для РЭМ (растровый электронный микроскоп), так и для классических процессов плазменной обработки. 

Позвоните нам, и мы с радостью проконсультируем вас. Тел.: 0 74 58/999 31-0

Базовая комплектация

  • Корпус прибл. Ш 560 мм x В 1640 мм x Г 620 мм
  • Объем камеры: прибл. 35 литров
  • Электропитание: 230 В / 16 А

Подвод газа

  • 3 регулятора массового расхода (РМР)

Вакуумные камеры

  • стеклянный колпак из боросиликатного стекла ∅ 315 мм x В 500 мм

Источник ионного распыления

  • 1 источник ионного распыления 2"–3" + затвор (в виде опции с вытяжной трубой и впуском газа для реактивных процессов)

Держатель подложки

  • ∅ 140 мм (в виде опции вращающийся, нагрев подложки, охлаждение подложки)
  • Переключаемый как электрод для предварительной плазменной обработки (очистка, активация, травление)

Управление  

  • Компьютерное управление (Microsoft Windows XPe

Измерение давления

  • Пирани

Генераторы

Частоты:40 кГц: мощность 0–500 Вт
13,56 МГц: Мощность 0–300 Вт

Источник напряжения смещения постоянного тока или с монополярным импульсом

Мощность макс. 300 Вт Напряжение макс. 600 В постоянного тока

Генераторы регулируются бесступенчато от 0 до 100 %

Вакуумные насосы

  • В различных размерах и от различных производителей (при необходимости с фильтром из активированного угля)

Дополнительные опции

Комплекты запасных частейКомплекты запасных частеймодификация для работы с коррозионным газом, газовые баллоны, редуктор давлениянагревательная панельиндикатор температурынагреваемая камеракамера Фарадеяпринадлежности для плазменной полимеризациитестовые чернилакислородный генератормедленная вентиляциямедленная откачкафланец — держатель образца ПЭМтехническое/сервисное обслуживаниедокументация на языке страны, в которую осуществляется поставка, установка на месте, включая обучение. Дополнительные опции по запросу.