Плазменные установки низкого давления

В плазменном оборудовании низкого давления происходит возбуждение газа в {2>вакууме<2} посредством подачи энергии. Возникают богатые энергией ионы и электроны, а также другие реактивные частицы, формирующие плазму. Благодаря этому возможно эффективное изменение поверхностей.