Опции и принадлежности для плазменных установок

Наши плазменные установки поставляются со следующими опциями/принадлежностями, которыми в большинстве случаев установки можно оснастить дополнительно:

2,45 ГГц генератор (СВЧ)

Мощность составляет 0–850 ватт, генератор имеет порт для подключения к компьютеру. Основными областями применения является активация, очистка, травление, полупроводники (начальные процессы изготовления), полупроводники (конечные процессы изготовления) и плазменная полимеризация.

13,56 МГц генератор

С целью соблюдения нормы DIN EN 55011 наши 13,56 МГц генераторы имеют кварцевую стабилизацию. Согласование полного сопротивления может осуществляться в фиксированном, ручном и автоматическом режимах. Основными областями применения является активация, очистка, травление, полупроводники (начальные процессы изготовления), полупроводники (конечные процессы изготовления) и плазменная полимеризация.

40 кГц генератор

Согласование полного сопротивления возможно только в автоматическом режиме, доступны два варианта мощности. Основными областями применения являются активация, очистка, травление, полупроводники (конечные процессы изготовления), плазменная полимеризация.

2/2-ходовой клапан для дозирования жидкости

Клапан для целенаправленного дозирования мономеров.

Фильтр из активированного угля

Фильтр из активированного угля может быть легко заменен на новый.

Приемный фильтр для вакуумного насоса

Защищает вакуумный насос от летучих веществ, отложений и засорений.

Автоматическая дверца

Дверца, которая при запуске процесса автоматически закрывается.

Сканер штрих-кода

Для отслеживания партий.

Нагреваемая камера

Камера может нагреваться приблизительно до 80 °C. Температура нагрева может регулироваться. Камера применяется для получения определенных условий технологического процесса и при повышенной скорости травления.

Измеритель напряжения смещения

Измеритель напряжения смещения — это измерительный прибор, применяемый для килогерцевых и мегагерцевых генераторов.

Барботер

Барботер относится к принадлежностям для полимеризации и служит для подвода жидких мономеров к вакуумной камере. Вместо простого способа подачи мономеров из баллона здесь используется газ-носитель. Газ-носитель, напр. аргон, распыляется в емкость с мономером.

Дисковый клапан

Дисковый клапан используется для регулирования газовой струи, в вакуумной технике прежде всего внутри всасывающего рукава вакуумного насоса. Для этого изменяется сопротивление в рукаве посредством изменения положения заслонки, которая в большей или меньшей степени может закрывать всасывающий рукав.

Документация на языке страны, в которую осуществляется поставка

Документация составлена в соответствии с Директивой по машинному оборудованию 89/392/EEC. Это не относится к английскому и немецкому языкам. Документация не входит в комплект поставки установки, и документацию необходимо заказывать отдельно.

Вращающийся барабан

Вид емкости для работы с сыпучими материалами.

Приборы для измерения давления

Датчик Пирани или Баратрон — показывают давление в вакуумной камере.

Редуктор давления

Редуктор давления подключается к газовому баллону — 200 бар. Различные газы требуют применения различных редукторов давления. Так, например, есть специальный редуктор для инертных газов H2, O2, CF4, C4F8  а также редуктор для NH3.

Промежуточные линии

Применяются для включения плазменной установки низкого давления в автоматическую линию обработки.

Комплект запасных частей — стандартный или ПФПЭ

В каждый комплект запасных частей входит 1 натяжное кольцо, 1 прокладка, 1 гофрированный шланг из нержавеющей стали (вакуумный), 1 оконное стекло, 1 уплотняющая прокладка для двери, 10 плавких предохранителей для плазменной установки, стандартный комплект содержит также 1 литр минерального масла для вакуумного насоса, а комплект ПФПЭ — 1 литр ПФПЭ масла для вакуумного насоса.

Устройство для печати этикеток

Автоматическая распечатка этикеток после плазменной обработки.

Устройство для считывания этикеток

Для отслеживания партий.

Камера / клетка Фарадея

Для деталей, чувствительных к воздействию электрического поля. Обрабатываемые детали помещаются в камеру Фарадея. При необходимости камеру можно вынуть из вакуумной камеры.

Держатель газовых баллонов

Крепится на рабочем столе, на полках или стеновых панелях. Максимальный диаметр фиксируемых деталей — 70 мм. Натяжной ремень фиксируется без зазора. Держатель пригоден для баллонов любого размера.

Сигнализатор газа (Dräger)

Дополнительная опция — предохранительное устройство, используемое при работе с воспламеняющимися газами.

Полуавтоматическое управление

Подробное описание предлагаемых нами различных вариантов управления вы найдете в разделе Плазменные установки/ Управление / Полуавтоматическое управление.

Нагревательные панели

Обрабатываемые детали находятся на нагревательной панели, которая может быть нагрета макс. до 150 °C и применяется для получения определенных условий технологического процесса, а также повышенной скорости травления. Имеются два варианта:

Если установка оснащена индикатором температуры, то внутри вакуумной камеры размещается датчик температуры для замера поверхностной температуры деталей. При использовании индикатора температуры, интегрированного с компьютерным управлением, в вакуумной камере также размещается датчик температуры, измеряющий поверхностную температуру деталей. При этом температура отображается на дисплее.

Установка плазменной установки у вас на предприятии

При данной услуге рассчитываются время командировки, время работы, а также командировочные издержки наших сотрудников.

Модификация для работы с коррозионным газом

Клапаны и трубопроводы изготовлены из нержавеющей стали. Эту модификацию обязательно необходимо применять при плазменной полимеризации или при применении таких коррозионных газов, как NH3, H2O, CF4, SF6.

Устройства для загрузки деталей по специальному заказу

В стандартный комплект поставки наших установок входит одно устройство загрузки деталей. Дополнительные или другие варианты оборудования — для оптимального использования плазменной установки — могут быть изготовлены по согласованию с компанией Diener electronic.

Лак в аэрозольной упаковке / набор стеклянных пластин (тест на содержание веществ, ослабляющих адгезию лакокрасочных покрытий)

Комплектующие части для проведения теста на содержание веществ, ослабляющих адгезию лакокрасочных покрытий. В комплект поставки входят: лак в аэрозольной упаковке — 5 шт. по 400 мл. Стеклянные пластины – 100 шт., 90 мм x 110 мм.

Медленная вентиляция вакуумной камеры

Вакуумная камера вентилируется медленно через фильтр. Это предотвращает циркуляцию мелких деталей внутри камеры.

Медленная откачка вакуумной камеры

Медленная откачка вакуумной камеры через перепускной клапан. Это предотвращает циркуляцию мелких деталей внутри камеры.

Удлиненные вакуумные камеры (Femto, Pico, Nano, ...)

Вакуумные камеры могут быть выполнены из нержавеющей стали, боросиликатного или кварцевого стекла. Отверстие камеры может закрываться либо специальной крышкой либо дверью на шарнире — по выбору. Длина вакуумных камер зависит от ваших требований к плазменной обработке. Свяжитесь с нами.

Индикатор мощности

Индикатор отображает мощность генератора. Это аналоговый индикационный прибор.

Многоярусный электрод

Многоярусный электрод поставляется для круглых и/или прямоугольных вакуумных камер. При этой конструкции возможна одновременная обработка сразу нескольких деталей. Область применения — стандартные процессы плазменной обработки. Согласуйте с компанией Diener electronic ваши требования относительно точной конструкции электрода, а также прочих материалов для изготовления устройств для загрузки камеры.

Детектор утечки микроволнового излучения

По причине опасного излучения на микроволновых установках может быть полезным установить детектор утечки микроволнового излучения.

Емкость для подачи мономеров

Входит в комплект принадлежностей для полимеризации. и используется для подвода жидких мономеров к вакуумной камере.

Сетевое подключение

Позволяет подключить установку к компьютеру.

ОЭС — оптический эмиссионный спектрометр

Применяется для контроля процесса плазменной обработки с целью обеспечения качества. Фиксирует окончание процесса плазменной обработки. ОЭС используется только на установках с компьютерным управлением.

Компьютерное управление

Подробное описание предлагаемых нами различных вариантов управления вы найдете в разделе Плазменные установки / Управление / Компьютерное управление.

 

 

Компьютерное управление на основе компактной встроенной технологии (PCCE)

На базе Windows CE с сенсорной панелью. Подробное описание предлагаемых нами различных вариантов управления вы найдете в разделе Плазменные установки / Управление / Компьютерное управление на основе компактной встроенной технологии (PCCE).

Polymerisationszubehör

Beinhaltet Verdampferflasche, eine Waage, Dosierpumpe, Heizung, evtl. Halterung.

Баллон технологического газа

Кислородный баллон для подключения в качестве технологического газа на 2, 5 и 10 литров, водородный баллон на 2 литра, аргоновый баллон на 5 литров. При поставке газов необходимо учитывать специальные условия транспортировки. При аренде установок баллон необходимо покупать.

Лодочка из кварцевого стекла

Поставляется в двух размерах. Для сверхчистой плазменной обработки или для обработки полупроводниковых пластин.

РИТ-электрод

Круглой или четырехугольной формы из нержавеющей стали, позволяет увеличивать скорость травления. Применяется для анизотропного и изотропного травления.

РИТ-электрод с газовым душем

Прямоугольной формы из нержавеющей стали. Позволяет увеличивать скорость травления за счет более равномерного распределения газа. Применяется для анизотропного травления.

Система типа «с рулона на рулон»

Используется, например, для обработки пленок / выводных рамок.

Кислородный генератор

Кислород получают из окружающего воздуха. Марка генератора Kröber O2. Скорость подачи кислорода: 3-6 л/мин.

Предохранительный клапан

Предназначен для работы с горючими газами, например, водород, ацетилен ...

Специальные электроды и устройства для загрузки камеры

Согласуйте с компанией Diener electronic ваши требования относительно точной конструкции электрода, а также прочих материалов для изготовления устройств для загрузки камеры.

Специальные / дополнительные фланцы

Специальные фланцы используются, если необходимо большее количество подключений, чем запланировано.

Специальные вакуумные камеры

В соответствии с нормой DIN 12198 на наших установках (смотровое окно) было проведено измерение интенсивности ультрафиолетового облучения. Результат показал, что повода для опасений нет. Специальные вакуумные камеры имеют либо круглую форму с крышкой, либо четырехугольную форму с дверью на шарнире. Камеры изготавливаются из алюминия и различаются между собой по диаметру отверстия и внутренним размерам. Свяжитесь с нами.

Стандартный электрод круглой или четырехугольной формы

Из листового материала нержавеющей стали или алюминия для стандартной плазменной обработки.

Держатель образца ПЭМ

Специальное устройство для ввода в камеру плазменной обработки. Возможен заказ любого размера. Предоставьте нам, пожалуйста, размеры/чертежи ваших деталей.

Температурный индикатор

Температурный индикатор внутренней температуры камеры без нагревательной панели. Внутри вакуумной камеры размещается датчик температуры. Он позволяет измерять поверхностную температуру детали. Функция отображения температуры может быть интегрирована в компьютерное управление. В этом случае температура отображается на дисплее.

Набор тестовых чернил

Тестовые чернила используются для быстрого контроля поверхностного напряжения. В набор входят 28, 38, 56, 64, 72 и 105 мН/м. Дополнительные параметры поставляются по запросу.

Термический испаритель

Для веществ с низким давлением пара. Диаметр чаши: 16 мм, объем чаши: 0,1 л. Имеется защитный экран от воздействия плазмы, контроль температуры (макс. 500 °C) и контроль скорости повышения температуры (до 250 °C/мин). Подключение осуществляется через небольшой фланец.

Стеклянные вакуумные камеры (боросиликатное или кварцевое стекло)

Вакуумные камеры из боросиликатного стекла предназначены для процессов плазменной обработки высокой чистоты. Вакуумные камеры из боросиликатного стекла предназначены для процессов плазменной обработки высокой чистоты.

Вакуумные камеры из нержавеющей стали

Вакуумные камеры из нержавеющей стали предназначены для использования при стандартных процессах плазменной обработки.

Вакуумные насосные станции

Пластинчатый насос или насос сухого хода с минеральным или перфторполиэфирным маслом. Поставляемые насосы наполнены маслом.

Полностью автоматическое управление

Подробное описание предлагаемых нами различных вариантов управления вы найдете в разделе Плазменные установки/ Управление / Полностью автоматическое управление.

Устройство для обработки порошков

Обработка порошков осуществляется во вращающемся газовом баллоне. Для того, чтобы наполнить баллон порошком, его можно извлечь из установки.

Мешок для белья

Для предварительной очистки мелких деталей в стиральной машине. Размеры: 500 мм x 300 мм. Минимальное количество при заказе: 20 штук.

Водяное охлаждение

Передвижное устройство охлаждения водой/воздухом. Подключение при помощи двух переключающих контактов для схемы защиты насоса.

Предлагаемые услуги по техническому обслуживанию плазменной установки

Компания Diener electronic предлагает комплексный пакет услуг по техническому обслуживанию оборудования. Замена масла, контроль всех входов и выходов, прокладок, штекерных соединителей и т. д., контроль интенсивности утечки, регулирование датчика давления, проверка работы функций. Дополнительную информацию о техническом обслуживании и предлагаемых услугах вы найдете в разделе Консультации/сервис.

Стиральная машина с сушкой

Для первичной очистки мелких деталей перед их плазменной обработкой. Необходима только при сильно загрязненных деталях. Производитель: Miele: тип WT 2670 WPM.

Панель устройства для загрузки деталей с водяным охлаждением

Охлаждаемая при помощи воды панель монтируется на дне камеры и поставляется в комплекте с водяным насосом и емкостью для воды. Панель используется для охлаждения термочувствительных деталей.

Дополнительные программные функции

Программное обеспечение может быть в любое время дополнено другими функциями. Сообщите нам, пожалуйста, ваши требования.

Дополнительный подвод газа

Игольчатые клапаны: наши установки могут быть оснащены любым количеством игольчатых клапанов. Стандартный набор клапанов, используемых на плазменных установках типа Femto, содержит 1-3 клапана, дополнительные клапаны поставляются по запросу.

Дополнительные регуляторы массового расхода (РМР)

РМР: необходимы при компьютерном управлении и компьютерном управлении на основе компактной встроенной технологии. Наши установки могут быть оснащены любым количеством регуляторов массового расхода (РМР).