Малая установка Pico UHP: Также пригодна для очистки оптических деталей
Плазма в стеклянном приемнике установки Pico UHP

Аренда установки PICO UHP — может быть предоставлена в краткие сроки

Малая установка PICO UHP с объемом камеры четыре литра и полуавтоматическим управлением используется преимущественно в следующих областях:

  • Мелкосерийное производство
  • Аналитика (РЭМ, ПЭМ)
  • Медицинская техника
  • Отделы исследований и разработок
  • Полупроводниковая техника
  • Техника пластмасс

UHP означает сверхвысокую чистоту (Ultra High Purity). Данное обозначение касается стеклянных приемников наших плазменных установок, они в зависимости от пожелания клиента могут быть изготовлены из боросиликатного или кварцевого стекла. Опция сверхвысокой чистоты (UHP) предлагается только для следующих установок: Femto, Pico и Nano.

Стеклянные камеры используются в микроволновых установках и/или в случае использования, при котором требуется сверхчистая поверхность. Обычные камеры из нержавеющей стали или алюминия, как и все металлы в плазменной установке, таким образом, также могут приводить к ионному распылению в незначительных количествах на обрабатываемом изделии. Для большинства процессов это не имеет значения и этим полностью можно пренебречь. Алюминиевые детали из установки сверхвысокой чистоты имеют покрытие из AL2OПоскольку установка не имеет приемника из нержавеющей стали, она пригодна для вариантов применения, при которых следы хрома, никеля и железа являются вредными.

Технические данные:

Шкаф распределительного устройстваШ 550 мм, В 330 мм, Г 500 мм

Камера∅ 130 мм, Д 300 мм Отверстие камеры: ∅ 125 мм Материалы: Кварцевое или боросиликатное стекло Передняя и задняя стенка камеры: Алюминий

Объем камерыприбл. 4 литра

Подвод газа2 газовых канала через игольчатый клапан

Генератор0 кГц / 100 Вт, бесступенчатый (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)#

Вакуумный насосLeybold, тип Trivac D 2,5B (2,5 м3/ч)

Держатель образц1 шт. поддон для обрабатываемых деталей

Управлениеполуавтоматическое, продолжительность процесса с помощью таймера

Опции / принадлежности