Малая установка Nano UHP с полуавтоматическим управлением: Очистка, активация, травление, нанесение покрытий

Аренда установки NANO UHP

Малая установка NANO UHP с объемом камеры 18 литров и полуавтоматическим управлением используется преимущественно в следующих областях:

  • Мелкосерийное производство
  • Аналитика (РЭМ, ПЭМ)
  • Электротехника
  • Медицинская техника
  • Техника пластмасс
  • Техника эластомеров
  • Исследования и разработки

UHP означает сверхвысокую чистоту (Ultra High Purity). Данное обозначение касается стеклянных приемников наших плазменных установок. Они в зависимости от пожелания клиента могут быть изготовлены из боросиликатного или кварцевого стекла. Опция сверхвысокой чистоты (UHP) предлагается только для следующих установок: Femto, Pico и Nano.

Стеклянные камеры используются в микроволновых установках и/или в случае использования, при котором требуется сверхчистая поверхность. Обычные камеры из нержавеющей стали или алюминия, как и все металлы в плазменной установке, таким образом, также могут приводить к ионному распылению в незначительных количествах на обрабатываемом изделии. Для большинства процессов это не имеет значения и этим полностью можно пренебречь. Алюминиевые детали из установки сверхвысокой чистоты имеют покрытие из AL2O3 Поскольку установка не имеет приемника из нержавеющей стали, она пригодна для вариантов применения, при которых следы хрома, никеля и железа являются вредными.

Технические данные:

Шкаф распределительного устройства: Ш 580 мм, В 650 мм, Г 600 мм

Камера: ∅ 240 мм, Д 400 мм (в виде опции: Д 600 мм) Отверстие камеры: ∅ 230 мм Материалы: Кварцевое или боросиликатное стекло Передняя и задняя стенка камеры: Алюминий

Объем камеры: прибл. 18 литров

Подвод газа: 2 газовых канала через игольчатый клапан

Генератор: 40 кГц / 300 Вт, бесступеньчатый (в виде опции: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Вакуумный насос: Leybold, тип D8B (8 м3/ч)

Держатель образца: 1 шт. поддон для обрабатываемых деталей

Управление: полуавтоматическое, продолжительность процесса с помощью таймера

Опции / принадлежности