Источники очистки

Плазменный источник очистки

Плазменные источники очистки от Diener electronic

Плазменный источник очистки — это поставляемое дополнительно устройство очистки отработавших газов для вакуумных насосов сухого хода, таких как насосы Рутса или винтовые насосы.

Для различных плазменных установок имеются подходящие вакуумные насосы сухого хода, такие как насосы Рутса или винтовые насосы, для выполнения соответствующего процесса плазменной обработки. На практике постоянно случается, что эти насосы во время их использования для плазменной обработки загрязняются остатками жидкостей, что ограничивает работоспособность вакуумного насоса.

Плазменный источник очистки, разработанный, изготовленный и запатентованный компанией Diener electronic, представляет собой защиту для таких вакуумных насосов и очищает полости.

Плазменный источник очистки в основном состоит из подачи и отвода технологического газа к полости, а также электрода, установленного в полости или возле полости, для получения плазмы. Отложения в полости могут в любое время быть удалены или же вообще можно не допускать их возникновения. Таким образом обеспечивается более длительный срок службы вакуумного насоса.