Вид спереди
Вид сзади
Автоматическое согласующее устройство на 13,56 МГц

Автоматическое согласующее устройство 13,56 МГц

Области применения:

Автоматическое или ручное согласование ВЧ-генератора на 13,56 МГц с плазмой низкого давления

Автоматическое согласующее устройство на 13,56 МГц

  • ВЧ диапазон мощности: 100 Вт/300 Вт
  • Частота: 13,56 МГц
  • ВЧ режим работы: непрерывный или импульсный
  • Полное сопротивление: 50 Ом
  • Входной разъем: N-коннектор
  • Полное выходное сопротивление: подходит для всех плазменных камер Diener electronic объемом до 150 литров
  • ВЧ-выход: Встроенный N-коннектор до 100 ватт или разъем 7/16 до 300 ватт
  • Особенно хорошо подходит для использования с ВЧ-генераторами Diener electronic или другими ВЧ-генераторами мощностью 300 ватт на 13,56 МГц, для сигнала в 0–10 вольт для обеспечения мощности в прямом и обратном направлении
  • Имеет микроконтроллерное управление, которое может работать как самостоятельно, так и от компьютера установки
  • Подключение дистанционного управления для: задания начальных значений, настройки режима работы ручной/авто, уведомления текущих настроек
  • Порт RS232 для обновления программного обеспечения или также дистанционного управления
  • Напряжение сети: 88–264 В переменного тока / 47–63 Гц
  • Потребляемая мощность: макс. 65 ватт
  • Вилка кабеля питания: IEC
  • Вес: прибл. 20 кг
  • Размеры: 19-дюймовый вставной блок; 3HE