Плазменные генераторы

Для работы плазменной установки необходим генератор. Какая частота при этом является наилучшей для желаемого применения плазмы? На этот вопрос нет общего ответа, это необходимо решать в каждом отдельном случае. После того, как Diener electronic уже в течение многих лет предлагает плазменные генераторы с частотой 50 кГц и 2,45 ГГц, ассортимент продукции компании теперь пополняется специально разработанными и изготавливаемыми генераторами с частотой 13,56 МГц и мощностью 100 и 300 ватт.

Преимущества генераторов с частотой 13,56 МГц:

  1. Возможен режим РИТ
  2. Однородность выше, чем при 2,45 ГГц
  3. Скорость травления при такой же мощности выше, чем при 40 кГц
  4. Можно без проблем использовать металлические вращающиеся барабаны
  5. Можно собрать электроды / стеллажи с поддонами для обрабатываемых деталей, но симметризация электродов очень затратна
  6. Подходит для начальных и конечных процессов изготовления полупроводников
  7. Высокая скорость нанесения в процессах плазменной полимеризации

Основными областями применения для обеих мощностей является применение плазмы для активации, очистки, травления, полупроводников (начальные процессы изготовления), полупроводников (конечные процессы изготовления) и плазменной полимеризации. Согласование полного сопротивления может осуществляться как в ручном (ручное согласование), так и в автоматическом (автоматическое согласование) режимах, но в любом случае оно необходимо, поэтому ВЧ-система состоит из генератора и согласующего устройства.

Тогда как при ручном согласовании согласование настраивается при каждом начале процесса и во время процесса должно иногда контролироваться и подстраиваться, конденсаторы настраиваются автоматически и подрегулируются при изменениях.

Кроме того, возможна индикация мощности в прямом и обратном направлении, аварийное отключение с помощью дверного выключателя и аварийного вакуумного выключателя, кварцевая стабилизация частоты для соблюдения нормы DIN EN 55011 и порт для подключения к компьютеру.

Нажмите здесь и узнайте больше об отдельных генераторах: