Плазма низкого давления

ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА В ОБЛАСТИ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ

СДЕЛАТЬ ЗАПРОС

Плазма низкого давления предоставляет широкие возможности модификации поверхностей. Тонкая очистка загрязненных деталей, плазменная активация пластмассовых поверхностей, травление PTFE или кремния и нанесение покрытий на пластмассы и PTFE-подобные материалы – лишь некоторые из случаев применения. Таким образом, плазма низкого давления применяется в самых разных областях, связанных с соединением материалов и целенаправленным изменением свойств поверхностей.

 

Плазменные установки низкого давления

Индивидуальная адаптация к технологическому процессу. 

Сделать запрос Установки

 

Как устроены плазменные установки низкого давления и как они функционируют?

В плазменной технике низкого давления газ за счет подачи энергии возбуждается в вакууме. Возникают высокоэнергетические ионы и электроны, а также другие реактивные частицы, формирующие плазму. Это позволяет эффективно изменятьсвойства поверхностей. Различают три эффекта воздействия плазмы:

Микропескоструйная обработка

Поверхность снимается в процессе бомбардировки ионами.

Химическая реакция

Ионизированный газ вступает в химическую реакцию с поверхностью.

УФ-излучение

Ультрафиолетовое излучение разрывает длинноцепные соединения углерода.

За счет изменения технологических параметров, таких как давлениемощностьпродолжительность процессапоток газа и его состав, изменяется принцип действия плазмы. Таким образом, в рамках одной единственной технологической операции можно достичь нескольких эффектов.

Плазма удаляет разделители (в том числе силиконы и масла) с поверхности. Они подвергаются химическому воздействию, например кислородом, и преобразовываются в летучие соединения. Под действием разрежения и поверхностного нагрева часть разделителей или их остатки испаряются. Энергонасыщенные частицы в плазме разрывают молекулы разделителей на малые молекулярные фрагменты, которые затем удаляются отсасывающей системой. Кроме того, возникает «эффект микроволн» на атомарном уровне. Ультрафиолетовое излучение в состоянии разрушать разделители.

На только что произведенных изделиях и на изделиях, хранившихся на складе, в большинстве случаев присутствуют невидимые отложения – смазки, масла, силиконы, влага или оксидные слои. Условием надлежащего нанесения покрытий на поверхности является отсутствие на них субстанций, препятствующих смачиванию краской. Это обеспечивается за счет плазменной очистки.

Пример типичных технологических параметров

Мощность: 500 Вт, объем рабочей камеры: 100 литров, технологический газ: воздух или кислород, давление: 0,2 - 0,6 мбар, продолжительность: 1 - 5 минут

Для использования доступно большое количество технологических газов (напр., воздух, кислород, аргон, смесь аргона и водорода, тетрафторметан с кислородом) и  химикатов (напр., гексаметилдисилоксан, винилацетат, ацетон, фторосодержащие химикаты).

В целом же действует следующий принцип: определяющим является знание технологического процесса. Для получения всех желаемых эффектов обработки плазма должна соответствовать материалу.

Aufbau einer Niederdruckplasmaanlage
  • icon  Составная часть

    Составная часть

  • icon Перевозчик продукта

    Перевозчик продукта

  • icon  Вакуумная камера

    Вакуумная камера

  • icon  Угловой клапан

    Угловой клапан

  • icon  газовый баллон

    газовый баллон

  • icon Клапан (игольчатый клапан NV), регулятор массового расхода (MFC))

    Клапан (игольчатый клапан NV), регулятор массового расхода (MFC))

  • icon  электрод

    электрод

  • icon  Вентиляционный клапан

    Вентиляционный клапан

  • Icon Вакуумный насос

    Вакуумный насос

  • Icon Генератор высокой частоты

    Генератор высокой частоты

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете