Специальные и интегрированные/автоматические установки

Плазменные установки низкого давления (Plasmacleaner)

Мы изготавливаем плазменные установки, адаптируя их к потребностям заказчиков. Определяющими факторами при создании концепции являются ожидаемая производительность по материалу и размер обрабатываемых деталей. Короткотактные установки легко интегрируются в существующие производственные линии. Полностью автоматизированная короткотактная установка исключит потенциальные ошибки управления.

Небольшая подборка изготовленных и поставленных специальных/интегрированных установок

Tetra 120 LF-PC

| Интегрированная установка

Технические характеристики:

  • Электрошкаф: Ш 600 мм, В 2150 мм, Г 1000 мм
  • Камера: Ш 1200 мм, В 150 мм, Г 700 мм
  • Объем камеры: прибл. 120 л
  • Подача газа: 4 газовых канала через MFCs
  • Генератор: 2 шт. (по 40 кГц) (опция: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
  • Система управления: компьютерная система управления (Windows) с промышленной полевой шиной
  • Автоматизация: установка оснащена автоматической дверцей

Tetra 185 PCB Desmearing

| Специальная установка

Технические характеристики:

  • Электрошкаф: Ш 600 мм, В 2100 мм, Г 1000 мм
  • Камера: Ш 400 мм, В 665 мм, Г 700 мм
  • Объем камеры: прибл. 185 л
  • Подача газа: 4 газовых канала через MFC
  • Генератор: 1 шт. (80 кГц)
  • Система управления: система управления Full PC

Свойства:

  • Очистка стенок отверстий (desmearing) в различных материалах
  • Очистка поверхностей
  • Активация металлических поверхностей
  • 7 выдвижных секций для одновременной обработки 7 пластин размером макс 460 x 610 мм или 14 печатных плат размером макс. 230 x 305 мм

Tetra 210 LF-PC

| Интегрированная установка

Технические характеристики:

  • Электрошкаф: Ш 1560 мм, В 2350 мм, Г 1860 мм
  • Камера: Ш 6000 мм, В 600 мм, Г 600 мм
  • Объем камеры: прибл. 210 л
  • Подача газа: 2 газовых канала через MFC
  • Генератор: 1 импульсный генератор (40 кГц) (опция: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
  • Система управления: компьютерная система управления (Windows) с промышленной полевой шиной

Tetra 216 LF-PC

| Специальная установка

Технические характеристики:

  • Электрошкаф: Ш 600 мм, В 1700 мм, Г 800 мм
  • Камера: Ш 600 мм, В 600 мм, Г 620 мм
  • Объем камеры: прибл. 216 л
  • Подача газа: 5 газовых канала через MFC
  • Генератор: 1 шт. (80 кГц) 
  • Система управления: компьютерная система управления (Windows) с промышленной полевой шиной 

Tetra 330 LF-PC

| Интегрированная установка

Технические характеристики:

  • Электрошкаф: Ш 1200 мм, В 1800 мм, Г 1800 мм
  • Камера: Ш 530 мм, В 700 мм, Г 900 мм
  • Объем камеры: прибл. 330 л
  • Подача газа: 4 газовых канала через MFC
  • Генератор: 1 шт. (80 кГц) 
  • Система управления: компьютерная система управления (Windows) с промышленной полевой шиной 

Tetra 375 Рулонная система

| Специальная установка

Технические характеристики

  • Корпус с электрошкафом: Ш 3150 мм, В 2200 мм, Г 1800 мм
  • Камера: Ш 1500 мм, В 1000 мм, Г 250 мм
  • Газ: 3 X газ 1 X озон
  • Генератор 5000
  • Система управления: компьютерная система управления
  • Рулонная система для независимой обработки двух отдельных рулонов.
     

Tetra 575 LF-PC

| Специальная установка

Технические характеристики:

  • Электрошкаф: Ш 1150 мм, В 1900 мм, Г 1600 мм
  • Камера: Ш 600 мм, В 1200 мм, Г 800 мм
  • Объем камеры: прибл. 575 л
  • Подача газа: 2 газовых канала через MFCs
  • Генератор: 1 шт. (40 кГц) (опция: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
  • Размещение деталей: 22 яруса / носителя материала (варьируется)
  • Система управления: компьютерная (Windows) 

Tetra 400 LF-PC

| Специальная установка

Технические характеристики:

  • Электрошкаф: Ш 600 мм, В 2100 мм, Г 650 мм
  • Камера: Ш 915 мм, В 750 мм, Г 725 мм
  • Объем камеры: прибл. 400 л
  • Подача газа: 3 газовых канала через MFC
  • Генератор: 2 шт. (по 40 кГц) (опция: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
  • Система управления: компьютерная система управления (Windows) с промышленной полевой шиной
  • Автоматизация: установка оснащена автоматической сдвижной дверцей

Tetra 830 AL-PC с 2 дверцами

| Интегрированная установка

Технические характеристики:

  • Электрошкаф: Ш 600 мм, В 1700 мм, Г 800 мм
  • Камера: Ш 900 мм, В 400 мм, Г 2300 мм
  • Дверцы: 2 шт. (по 1 с передней и задней стороны)
  • Объем камеры: прибл. 830 л
  • Подача газа: 1 газовых канала через MFC
  • Генератор: 1 шт. (80 кГц)
  • Система управления: компьютерная система управления (Windows) с промышленной полевой шиной
  • Автоматизация: установка может быть интегрирована в производственную линию.

Tetra 800 LF-PC

| Специальная установка

Технические характеристики:

  • Электрошкаф: Ш 600 мм, В 1800 мм, Г 800 мм
  • Камера: Ш 1250 мм, В 550 мм, Г 1120 мм
  • Объем камеры: прибл. 800 л
  • Подача газа: 3 газовых канала через MFC
  • Генератор: 1 шт. (40 кГц)
  • Система управления: компьютерная система управления (Windows) с промышленной полевой шиной

Tetra 810 LF-PC

| Специальная установка

Технические характеристики:

  • Электрошкаф: Ш 1200 мм, В 2200 мм, Г 2000 мм
  • Камера: Ш 900 мм, В 1100 мм, Г 900 мм
  • Объем камеры: прибл. 810 л
  • Подача газа: 2 газовых канала через MFC
  • Генератор: 1 шт. (80 кГц)
  • Система управления: компьютерная система управления (Windows) с промышленной полевой шиной

Tetra-1200-LF-PC 

| Специальная установка

Технические характеристики:

  • Электрошкаф: Ш 1000 мм, В 1000 мм, Г 1800 мм
  • Камера: Ш 600 мм, В 1000 мм, Г 2000 мм
  • Объем камеры: прибл. 1200 л
  • Подача газа: 2 газовых канала через MFC
  • Генератор: 3 шт. (по 40 кГц)
  • Система управления: компьютерная система управления (Windows) с промышленной полевой шиной

Tetra 2800-LF-PC

| Специальная установка

Технические характеристики:

  • Электрошкаф: Ш 600 мм, В 1700 мм, Г 800 мм
  • Камера: ∅ 1200 мм, Г 2500 мм
  • Объем камеры: прибл. 2800 л
  • Подача газа: 3 газовых канала через MFC
  • Генератор: 1 шт. (40 кГц) (опция: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
  • Система управления: компьютерная система управления (Windows) с промышленной полевой шиной

Tetra 3600

| Специальная установка

Технические характеристики:

  • Электрошкаф/камера: Д 450 мм, В 210 мм, Ш 170 мм
  • Объем камеры: прибл. 3600 л
  • Подача газа: 2 газовых канала через MFC
  • Генератор: 3 шт. (80 кГц) (5 кВт), генератор кислорода
  • Система управления: система управления Full PC (Windows), поворотная консоль 
  • Секционная система: выдвигаемые носители материала

Tetra 8000-LF-PC

| Специальная установка

Технические характеристики:

  • Электрошкаф: Ш 2000 мм, В 1800 мм, Г 1000 мм
  • Камера: Ш 1700 мм, Г 2800 мм, В 1700 мм
  • Объем камеры: прибл. 8000 л
  • Подача газа: 2 газовых канала через MFC
  • Генератор: 4 шт. (по 40 кГц) (опция: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
  • Система управления: компьютерная система управления (Windows) с промышленной полевой шиной

Bel Jar 35

| Специальная установка

Bell Jar 35 – это исследовательская установка, разработанная для научных экспериментов. Установка предназначена как для термического испарения, ионно-плазменного распыления, электронно-лучевого испарения, нанесения металлических покрытий при подготовке проб для REM (растровый электронный микроскоп), так и для классических плазменных процессов.

 

 

Технические характеристики:

  • Корпус: Ш 560 мм x В 1640 мм x Г 620 мм
  • Объем камеры: прибл. 35 л
  • Электропитание: 230 В / 16 A
  • Подача газа: 3 регулятора Mass-Flow-Controller (MFC)
  • Вакуумные камеры: стеклянный колокол из боросиликатного стекла ∅ 315 мм x В 500 мм
  • Источник ионно-плазменного распыления: 1 источник 2" - 3" + диафрагма (в качестве опции – с вытяжным трубопроводом и впуском газа для реактивных процессов)
  • Держатель субстрата: ∅ 140 мм (в качестве опции – поворотный, обогрев и охлаждение субстрата), использование в качестве электрода для предварительной обработки (очистка, активация, травление)
  • Система управления: компьютерная система управления (Microsoft Windows XPe) 
  • Измерение давления: датчик Пирани
  • Вакуумные насосы: разных размеров и разных производителей (при необходимости с угольным фильтром)
  • Опции: комплекты запчастей, измеритель давления, исполнение для коррозионных газов, газовые баллоны, редукторы давления, нагревательная пластина, индикатор температуры, обогреваемая камера, клетка Фарадея, аксессуары для плазменной полимеризации, тестовые чернила, генератор кислорода, медленная подача воздуха, медленная откачка, фланец для проб TEM, техническое/сервисное обслуживание, документация на языке страны эксплуатации, монтаж и обучение на месте эксплуатации. Другие опции по запросу

 

Генераторы:    

  • 40 кГц: мощность 0 - 500 Вт
  • 13,56 МГц: мощность 0 - 300 Вт
  • Источник напряжения смещения пост. тока или однополюсный импульсный
  • Мощность макс. 300 Вт, напряжение макс. 600 В пост. тока
  • Генераторы с бесступенчатой регулировкой 0 - 100 %

Tetra 30 LF-PC

| Интегрированная установка

Технические характеристики:

  • Электрошкаф: Ш 800 мм, В 600 мм, Г 500 мм
  • Камера: Ш 240 мм, В 150 мм, Г 240 мм
  • Объем камеры: прибл. 30 л
  • Подача газа: 1 газовых канала через MFC
  • Генератор: 1 шт. (40 кГц) (опция: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
  • Система управления: компьютерная система управления (Windows) с промышленной полевой шиной
  • Автоматизация: установка может быть интегрирована в производственную линию.
  • Эта установка предлагается также в качестве монтажного комплекта.

Tetra 100 LF-PC

| Специальная установка

Технические характеристики:

  • Электрошкаф: Ш 2000 мм, В 2200 мм, Г 2000 мм
  • Камера: Ш 700 мм, В 200 мм, Г 700 мм
  • Объем камеры: прибл. 100 л
  • Подача газа: 3 газовых канала через MFC
  • Генератор: 1 шт. (40 кГц) (опция: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
  • Система управления: компьютерная система управления (Windows) с промышленной полевой шиной
  • Автоматизация: установка оснащена дверцей для выдвижных секций

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете