Тетрафторметан

4 соответствует молекуле метана, в которой все 4 водородных соединения были заменены фтором. 
В плазменных процессах часто используемый технологический газ, в особенности в процессах травления. Тетрафторметан (CF4, обозначается также как Freon 14) при нормальных условиях полностью инертный, но в плазме образует свободные атомы фтора, а также радикалы CF2 и CF3. Они обладают сильным действием травления, например на диоксид кремния. Скорости травления смесями из CF4 и O2 прибл. в 5 раз выше, чем у чистого кислорода.

вернуться к глоссарию

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете