Генераторы
Для плазменных установок
Для функционирования плазменной установки необходим плазменный генератор. При этом наиболее подходящая частота для используемой плазменной технологии варьируется в зависимости от случая применения. В дополнение к традиционным плазменным генераторам Diener electronic с рабочей частотой 40 кГц и 2,45 ГГц в ассортимент продукции не так давно вошли генераторы собственной разработки на 13,56 МГц мощностью 100 и 300 Вт.
Основными областями применения для обеих мощностей являются такие технологии плазменной обработки, как активация, очистка, травление, обработка полупроводников (front-end) и (back-end), плазменная полимеризация. Согласование полного сопротивления может осуществляться как в ручном (handmatching), так и в автоматическом (automatching) режимах, но в любом случае оно необходимо. По этой причине ВЧ-система состоит из генератора и согласующего устройства.
При ручном согласованиисогласующее устройство настраивается при каждом запуске процесса и периодически контролируется и подстраивается во время работы, поэтому конденсаторы настраиваются автоматически и регулируются по мере изменений.
Также возможны индикациямощности в прямом и обратном направлениях, аварийное отключение с помощью дверного выключателя и аварийного вакуумного выключателя, кварцевая стабилизация частоты для соблюдения требований DIN EN 55011, порт для подключения к ПК.
Генератор 2,45 ГГц (микроволновый)
Мощность может составлять до 850 Вт, генератор оснащается портом для подключения к ПК. Основными областями применения являются активация, очистка, травление, обработка полупроводников (front-end) и (back-end), плазменная полимеризация.
Микроволновый генератор предлагается также с мощностью 1200 Вт.
Технические характеристики:
Макс. выходная мощность 1200 Вт
Макс. выходной ток 300 мА
Макс. выходное напряжение 5000 В
Макс. потребляемая мощность < 1300 Вт
Макс. потребление тока 9 А
(без PFC)
Сетевое напряжение 210...250 В перем. тока
Эффективность > 95 % (при номинальной мощности)
Регулирование мощности Ток: 0...300 мА
Мощность: 0...1200 Вт
Импульсный режим: 100 мкс...100 мс (импульс/пауза)
Отклонение регулируемой величины ± 5 % (от макс. значения, с температурной компенсацией)
Охлаждение: воздух, макс. 70 л/мин, регулирование по температуре
Окружающая температура +15...+40 °C
Время расцепления при ошибке нагрузки: короткое замыкание/разомкнутый контур < 1 с, ошибка регулирования < 5 с
Размеры < 485 x 145 x 290 мм (шxвxг)
Вес прибл. 6,0 кг
Генератор LFG, 500 Вт
Макс. выходная мощность: 500 Вт
Макс. выходной ток: 1,3 А
Макс. выходное напряжение: 1200 В перем. тока
Макс. потребляемая мощность: 560 Вт
Входное напряжение: 210...230 В перем. тока, 50/60 Гц
Входной ток: макс. 2,6 А
Эффективность: > 90 % (при номинальной мощности)
Режим согласования мощности: токовый режим: 0,1 - 1,3 А, режим мощности: 10 - 500 Вт (через DSUB или ПК-подключение), импульсный режим:
• Длительность импульса: 100 мкс - 100 мс
• Задержка импульса: 100 мкс - 100 мс
Точность: более ±5 % конечного значения
Защита от рассогласования из-за разомкнутого контура или короткого замыкания
• Время выключения при размыкании контура/коротком замыкании
: < 1 с
• Время выключения при ошибке согласования
: < 5 с
Синхронизированный параллельный режим
Диапазон температур (при эксплуатации): +15 - +40 °C
Охлаждение: макс. объем воздуха 70 м³/ч; присоединения:
• DSUB25 (гнездовая часть) для дистанционного управления через промышленные системы (напряжение 24/10 В)
Вес: 5,6 кг
Применение:
• Плазменные генераторы низкого давления
Генератор LFG, 1000 Вт
Макс. выходная мощность: 1200 Вт
Макс. выходной ток: 4 А
Макс. выходное напряжение: 1200 В перем. тока
Макс. потребляемая мощность: 1500 Вт
Входное напряжение: 210...230 В перем. тока, 50/60 Гц
Входной ток: макс. 3x 5 А
Эффективность: > 90 % (при номинальной мощности)
Режим согласования мощности: токовый режим: 1 - 4 А, режим мощности: 300 - 3000 Вт (через DSUB или ПК-подключение), импульсный режим:
• Длительность импульса: 100 мкс - 100 мс
• Задержка импульса: 100 мкс - 100 мс
Точность: более ±5 % конечного значения
Защита от рассогласования из-за разомкнутого контура или короткого замыкания
• Время выключения при размыкании контура/коротком замыкании
: < 1 с
• Время выключения при ошибке согласования
: < 5 с
Синхронизированный параллельный режим
Диапазон температур (при эксплуатации): +15 - +40 °C
Охлаждение: макс. объем воздух 70 м³/ч
Присоединения:
• DSUB25 (гнездовая часть) для дистанционного управления через промышленные системы (напряжение 24/10 В)
Вес: 18 кг
Применение:
• Плазменные генераторы низкого давления
Генератор LFG, 3000 Вт
Макс. выходная мощность: 3000 Вт
Макс. выходной ток: 10 А
Макс. выходное напряжение: 1200 В перем. тока
Макс. потребляемая мощность: 3600 Вт
Входное напряжение: 210...230 В перем. тока, 50/60 Гц
Входной ток: макс. 3x 7 А
Эффективность: > 90 % (при номинальной мощности)
Режим согласования мощности: токовый режим: 1 - 4 А, режим мощности: 300 - 3000 Вт (через DSUB или ПК-подключение), импульсный режим:
• Длительность импульса: 100 мкс - 100 мс
• Задержка импульса: 100 мкс - 100 мс
Точность: более ±5 % конечного значения
Защита от рассогласования из-за разомкнутого контура или короткого замыкания
• Время выключения при размыкании контура/коротком замыкании
: < 1 с
• Время выключения при ошибке согласования
: < 5 с
Синхронизированный параллельный режим
Диапазон температур (при эксплуатации): +15 - +40 °C
Охлаждение: макс. объем воздух 70 м³/ч
Присоединения:
• DSUB25 (гнездовая часть) для дистанционного управления через промышленные системы (напряжение 24/10 В)
Вес: 18 кг
Применение:
• Плазменные генераторы низкого давления
Генератор LFG, 5000 Вт
Макс. выходная мощность: 5000 Вт
Макс. выходной ток: 10 А
Макс. выходное напряжение: 1200 В перем. тока
Макс. расход энергии: 5700 А
Сетевое подключение: 210...230 В перем. тока, 50/60 Гц
Входной ток: макс. 3 x 7 А
Эффективность: > 90 % (при номинальной мощности)
Настройка мощности: токовый режим: 1 – 4A, режим мощности: 300 – 3000 Вт
(через DSUB или ПК-подключение), импульсный режим:
• Длительность импульса: 100 мкс - 100 мс
• Задержка импульса: 100 мкс - 100 мс
Точность: < ±5 % конечного значения
Ошибка согласования мощности при разомкнутом выходе и коротком замыкании
• Время выключения при открытой нагрузке: < 1 с.
• Время выключения при ошибке настройки: < 5 с
Синхронный параллельный режим
Диапазон рабочих температур: +15 - +40 °C
Охлаждение: макс. расход воздуха 323 м³/ч (управление по температуре)
Интерфейсы:
• DSUB25 (гнездовая часть) для дистанционного управления через промышленные устройства управления (напряжение 24/10 В)
Вес: 18 кг
Применение:
• Генератор плазмы низкого давления
