Low Cost System Zepto

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Plasmaanlage Zepto für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung
Plasmaanlage Zepto für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung
Plasmaanlage Zepto - Nadelventile für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie
Plasmaanlage Zepto - Nadelventile
für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie
Plasmaanlage Zepto W6
Plasmaanlage Zepto W6
Plasmaanlage Zepto-RIE
Plasmaanlage Zepto-RIE
Zepto Plasmaanlage
Plasmaanlage Zepto ohne PC

Die 2,6 Liter LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ZEPTO mit manueller, PC und PCCE Steuerung kommt vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz: 

  • Kleinserienfertigung
  • Analytik (REM, TEM)
  • Medizintechnik
  • Sterilisieren
  • Forschungs- und Entwicklungsabteilungen
  • Archäologie
  • Textiltechnik
  • Kunststofftechnik

Rufen Sie uns an, wir beraten Sie gerne. Tel.: 0 74 58/999 31-0

Prospekt Zepto

Grundausstattung 

  • Die Gehäusegrößen variieren je nach Komponenten/Optionen
  • Kammervolumen: je nach Version 1,7 - 2,6 Liter
  • Spannungsversorgung: 230 V

Gaszufuhr 

  • Nadelventile
  • Mass-Flow-Controller (MFCs)

Vakuumkammern 

  • Quarzglas (UHP) rund mit Deckel(ca. ∅ 105 mm, L 200 mm oder L 300 mm)
  • Borosilikatglas (UHP) rund mit Deckel(ca. ∅ 105 mm, L 200 mm oder L 300 mm)

Beladung 

  • Warenträger: Aluminiumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas

Elektroden

  • Ein- oder Mehretagen

Steuerung 

  • Manuell
  • PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
  • PC-Steuerung (Microsoft Windows POS Ready 2009)

Druckmessung 

  • Pirani

Timer 

  • Digital

Generatoren  

Frequenzen:40 kHz: Leistung 0 - 100 W
13,56 MHz: Leistung 0 - 50 W

Vakuumpumpen 

  • In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellen (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)

Weitere Optionen

Ersatzteilsets, Druckmessgerät, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Faraday Box, Plasmapolymerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoffgenerator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, Wartung/Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage.

Plasma-Laboranlage Zepto