Niederdruckplasma Low Cost Anlage
Yocto - Niederdruckplasma Low Cost Anlage

Yocto III

Die Plasmaanlage Yocto III kommt vorwiegend zum

  • Aktivieren
  • Reinigen

zum Einsatz.

Rufen Sie uns an, wir beraten Sie gerne. Tel.: 07458 - 99931-0

Grundausstattung

  • Spannungsversorgung: 230 V

Gaszufuhr

  • Prozessgas über Filter
  • Durchfluss über Ventil (nicht regelbar)
  • Belüftung über Filter

Vakuumkammer

  • Borosilikatglas (UHP) rund mit Deckel(ca. ∅ 50 mm, L 150 mm)

Elektroden

  • Ein Elektrodenpaar außerhalb der Vakuumkammer

Steuerung

  • Generator zur Plasmaerzeugung
  • 2-Stufenschalter
  • Startknopf
  • Netzschalter

Generatoren  

  • Frequenzen: 100 kHz: Leistung 0 - 30 W

 Vakuumpumpe

  • Im Gehäuse eingebaut
  • Ölfrei
  • Saugleistung: 0,75 m3/h