Niederdruck-Plasmaanlage Tetra 30 PC / PCCE

Plasmasystem Tetra
Plasmasystem Tetra 30, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation
Plasmaanlage Tetra
Plasmasystem Tetra 30, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation

Die Tetra 30 Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im Folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den Tetra 30 Plasmasystemen. Die Tetra 30 Plasmasysteme kommen vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz: 

  • Analytik (REM, TEM)
  • Archääologie
  • Automotive
  • Biotechnologie
  • Elastomertechnik
  • Elektrotechnik
  • Elektronenmikroskopie
  • Feinwerktechnik
  • Forschung und Entwicklung
  • Halbleitertechnik
  • Kleinserienfertigung
  • Kunststofftechnik
  • Medizintechnik
  • Mikrosystemtechnik
  • Solarzellentechnik
  • Textiltechnik

Rufen Sie uns an, wir beraten Sie gerne. Tel.: 0 74 58/999 31-0

Prospekt Tetra 30

Grundausstattung 

  • Die Gehäusegrößen variieren je nach Komponenten/Optionen
  • Kammervolumen: je nach Version 34 - 57 Liter
  • Spannungsversorgung: 230 V oder 400 V / 3 Phasen

Gaszufuhr 

  • Mass-Flow-Controller (MFCs)

Vakuumkammer 

  • Edelstahl rechteckig, Tür mit Scharnier (ca. B 305 mm, H 300 mm x T 370 mm oder 625 mm)

Beladung 

  • Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote, Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas

Elektroden 

  • Ein- oder Mehretagen
  • RIE Elektrode mit Gasdusche

Steuerung 

  • PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
  • PC-Steuerung (Microsoft Windows POS Ready 2009)

Druckmessung 

  • Pirani
  • Baratron (für Korrosivgas-Version)

Timer 

  • Digital

Generatoren 

Frequenzen:40 kHz: Leistung 0 - 1000 W; 0 - 1500 W;
0 - 2500 W
13,56 MHz: Leistung 0 - 300 W; 0 - 600 W
2,45 GHz: Leistung 0 - 600 W; 0 - 1200 W

Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 %

Vakuumpumpen 

  • In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)

Weitere Optionen

ErsatzteilsetsDruckmessgerätKorrosivgasausführung, Gasflaschen, DruckmindererHeizplatteTemperaturanzeigebeheizbare KammerFaraday BoxPlasmapolymerisationszubehörTesttintenSauerstoffgeneratorlangsame Belüftunglangsames AbpumpenTEM ProbenhalterflanschWartung/ServiceDokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage.