Die Produktionsanlage Tetra 2800-LF-PC mit ihren 2.800 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz:
Technische Daten
Schaltschrank: B 600 mm, H 1700 mm, T 800 mm
Kammer: ∅ 1200 mm, T 2500 mm
Kammervolumen: ca. 2800 Liter
Gaszufuhr: 3 Gaskanäle über MFCs
Generator: 1 Stück (40 kHz)(optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)
Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
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