Niederdruck-Plasmaanlage Tetra 100 PC / PCCE

Plasmaanlage Tetra 100
Plasmaanlage Tetra 100 (Beispiel)

Die Tetra 100 Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im Folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den Tetra 100 Systemen. Die Tetra 100 Plasma Systeme kommen vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz: 

  • Analytik (REM, TEM)
  • Archääologie
  • Automotive
  • Biotechnologie
  • Elastomertechnik
  • Elektrotechnik
  • Elektronenmikroskopie
  • Feinwerktechnik
  • Forschung und Entwicklung
  • Halbleitertechnik
  • Kleinserienfertigung
  • Kunststofftechnik
  • Medizintechnik
  • Mikrosystemtechnik
  • Solarzellentechnik
  • Textiltechnik

Rufen Sie uns an, wir beraten Sie gerne. Tel.: 0 74 58/999 31-0

Prospekt Tetra 100

Grundausstattung 

  • Die Gehäusegrößen variieren je nach Komponenten/Optionen
  • Kammervolumen: je nach Version 80 - 100 Liter
  • Spannungsversorgung: 230 V oder 400 V / 3 Phasen

Gaszufuhr 

  • Mass-Flow-Controller (MFCs)

Vakuumkammer 

  • Edelstahl rund, Tür mit Scharnier (ca. ∅ 400 mm, L 625 mm)
  • Edelstahl rechteckig, Tür mit Scharnier (ca. B 400 mm x H 400 mm x T 625 mm)

Beladung 

  • Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote, Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas

Elektroden 

  • Ein- oder Mehretagen
  • RIE Elektrode mit Gasdusche

Steuerung 

  • PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
  • PC-Steuerung (Microsoft Windows POS Ready 2009)

Druckmessung 

  • Pirani
  • Baratron (für Korrosivgas-Version)

Timer 

  • Digital

Generatoren 

Frequenzen:40 kHz: Leistung 0 - 1000 W; 0 - 1500 W; 0 - 2500 W
13,56 MHz: Leistung 0 - 300 W; 0 - 600 W; 0 - 1000 W
2,45 GHz: Leistung 0 - 1200 W

Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 %

Vakuumpumpen 

  • In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)

Weitere Optionen

ErsatzteilsetsDruckmessgerätKorrosivgasausführung, Gasflaschen, DruckmindererHeizplatteTemperaturanzeigebeheizbare KammerFaraday BoxPlasmapolymerisationszubehörTesttintenSauerstoffgeneratorlangsame Belüftunglangsames AbpumpenTEM ProbenhalterflanschWartung/ServiceDokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage.