Steuerungsvarianten

Grundsätzlich ist es möglich, alle Anlagen bzw. Vakuumkammern (Femto, Pico, Nano, Tetra 8, Tetra 30, Tetra 50, Tetra 100, Sonderanlagen, ...) mit allen Steuerungssystemen auszustatten.

Folgende Steuerungen sind lieferbar: