Niederdruck-Plasmaanlage Pico

Plasmaanlage Pico, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation
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Plasmasysstem Pico, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation
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Plasmaanlage Pico für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmasysteme
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Plasmasystem Pico, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation
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Plasmaanlage Pico, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation
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Plasmaanlage Pico, Plasmacleaner, Plasmaasher, Plasmaetcher, Plasmaactivation
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Die Pico Plasmaanlagen können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im Folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den Pico Plasmasystemen. Die Pico Plasmasysteme kommen vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz: 

  • Analytik (REM, TEM)
  • Archäologie
  • Automotive
  • Forschungs- und Entwicklungsabteilungen
  • Halbleitertechnik
  • Kleinserienfertigung
  • Kunststofftechnik
  • Medizintechnik
  • Mikrosystemtechnik
  • Sensorik
  • Sterilisieren
  • Textiltechnik

Rufen Sie uns an, wir beraten Sie gerne. Tel.: 0 74 58/999 31-0

Prospekt Pico

Grundausstattung 

  • Die Gehäusegrößen variieren je nach Komponenten / Optionen
  • Kammervolumen: je nach Version 4 - 15 Liter
  • Spannungsversorgung: 230 V für Tischgerät 400 V / 3 Phasen für Standgerät

Gaszufuhr 

  • Nadelventile
  • Mass-Flow-Controller (MFCs)

Vakuumkammern 

  • Edelstahl rund mit Deckel(ca. ∅ 150 mm, L 320 mm oder L 600 mm ) oder
  • Edelstahl rechteckig, Tür mit Scharnier(ca. B 160 mm x H 160 mm x T 325 mm oder 600 mm)
  • Aluminium rechteckig mit Deckel oder Tür mit Scharnier(ca. ∅ 160 mm, L 325 mm oder L 600 mm)
  • Quarzglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier(ca. ∅ 130 mm, L 300 mm oder L 600 mm)
  • Borosilikatglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier(ca. ∅ 130 mm, L 300 mm oder L 600 mm)

Beladung 

  • Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote, Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminiumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas 

Elektroden 

  • Ein- oder Mehretagen
  • RIE

Steuerung 

  • Halbautomatik
  • PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
  • PC-Steuerung (Microsoft Windows POS Ready 2009)

Druckmessung 

  • Pirani
  • Baratron (für Korrosivgas-Version)

Timer 

  • Digital

Generatoren  

Frequenzen:40 kHz: Leistung 0 - 200 W; 0 -1000 W
13,56 MHz: Leistung 0 - 50 W; 0 - 100 W; 0 - 300 W
2,45 GHz: Leistung 0 - 300 W

 Alle Generatoren sind sufenlos regelbar von 0 - 100 % 

Vakuumpumpen 

  • In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)

Weitere Optionen

Ersatzteilsets, Druckmessgerät, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolymerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoffgenerator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, TEM Probenhalterflansch, Wartung/Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage.