Niederdruck-Plasmaanlage Nano

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Plasmaanlage Nano
Plasmaanlage Nano, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation
Plasmasystem Nano
Plasmasystem Nano für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmaanlagen, Plasma cleaner
Plasmaanlage Nano
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Plasmacleaner Nano
Plasmasystem Nano für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmaanlagen
Plasmaanlage Nano
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Plasmaanlage Nano
Plasmaanlage Nano, Plasmacleaner, Plasmaasher, Plasmaetcher, Plasmaactivation

Die Nano Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im Folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den Nano Plasmasystemen: Die Nano Plasmasysteme kommen vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz: 

  • Analytik
  • Archäologie
  • Automotive
  • Forschungs- und Entwicklungsabteilungen
  • Halbleitertechnik
  • Kleinserienfertigung
  • Kunststofftechnik
  • Medizintechnik
  • Mikrosystemtechnik
  • Sensorik
  • Sterilisieren
  • Textiltechnik

Rufen Sie uns an, wir beraten Sie gerne. Tel.: 0 74 58/999 31-0

Prospekt Nano

Grundausstattung 

  • Die Gehäusegröße variieren je nach Komponenten / Optionen
  • Kammervolumen: je nach Version 18 - 36 Liter
  • Spannungsversorgung: 230 V für Tischgerät, 400 V / 3 Phasen für Standgerät

Gaszufuhr

  • Nadelventile
  • Mass-Flow-Controller (MFCs)

Vakuumkammern 

  • Edelstahl rund mit Deckel (ca. ∅ 267 mm, L 420 mm oder L 600 mm) oder
  • Edelstahl rechteckig, Tür mit Scharnier (ca. B 240 mm x H 240 mm x T 420 mm oder 600 mm)
  • Aluminium rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier (ca. ∅ 240 mm, L 400 mm oder L 600 mm)
  • Quarzglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier (ca. ∅ 240 mm, L 400 mm oder L 600 mm)
  • Borosilikatglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier (ca. ∅ 240 mm, L 400 mm oder L 600 mm)

Beladung 

  • Warenträger (Option: wassergekühlt), Quarzglasboote, Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminiumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas

Elektroden 

  • Ein - oder Mehretagen
  • RIE

Steuerung 

  • Halbautomatik
  • PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
  • PC-Steuerung (Microsoft Windows POS Ready 2009)

Druckmessung 

  • Pirani
  • Baratron (für Korrosivgas-Version)

Timer 

  • Digital

Generatoren 

Frequenzen:40 kHz: Leistung 0 - 300 W; 0 - 1000 W
13,56 MHz: Leistung 0 - 100 W; 0 - 300 W
2,45 GHz: Leistung 0 - 600 W

Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 %

Vakuumpumpen 

  • In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)

Weitere Optionen

ErsatzteilsetsDruckmessgerätKorrosivgasausführung, Gasflaschen, DruckmindererHeizplatteTemperaturanzeigebeheizbare KammerFaraday BoxPlasmapolymerisationszubehörTesttintenSauerstoffgeneratorlangsame Belüftunglangsames AbpumpenTEM ProbenhalterflanschWartung/ServiceDokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage.