Niederdruck-Plasmaanlage (Plasmacleaner) Femto

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Plasmaanlage Femto für Prozessentwicklung, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation, Femtoscience
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Plasmasystem Femto mit Türscharnier für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmaanlagen
Plasmasystem Femto mit Türscharnier für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmaanlagen
Plasmaanlage Femto, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation
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Plasmasystem Femto, Plasmacleaner, Plasmaasher, Plasmaetcher, Plasmaactivation
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Plasmasystem Femto für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmaanlage
Plasmasystem Femto für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmaanlage
Plasmacleaner Femto
Plasmaanlage Femto, Plasma cleaner, Plasma asher, Plasma etcher, Plasma activation
Plasmacleaner Femto-RIE
Plasmasystem Femto für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmaanlage

Die Femto Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im Folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den Femto Plasmasystemen. Die Femto Plasmasysteme kommen vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz: 

  • Analytik
  • Archäologie
  • Automotive
  • Forschungs- und Entwicklungsabteilungen
  • Halbleitertechnik
  • Kleinserienfertigung
  • Kunststofftechnik
  • Medizintechnik
  • Mikrosystemtechnik
  • Sensorik
  • Sterilisieren
  • Textiltechnik

Rufen Sie uns an, wir beraten Sie gerne. Tel.: 0 74 58/999 31-0

Prospekt Femto

Grundausstattung 

  • Die Gehäuse variieren je nach Komponenten / Optionen
  • Kammervolumen: je nach Version 1,9 - 6 Liter
  • Spannungsversorgung: 230 V für Tischgerät, 400 V / 3 Phasen für Standgerät

Gaszufuhr 

  • Nadelventile
  • Mass-Flow-Controller (MFCs)

Vakuumkammern 

  • Edelstahl rund mit Deckel(ca. ∅ 100 mm, L 278 mm oder L 600 mm)
  • Edelstahl rechteckig, Tür mit Scharnier(ca. B 103 x T 285 x H 103)
  • Aluminium rechteckig mit Deckel oder Tür mit Scharnier(ca. ∅ 95 mm, L 280 mm oder L 600 mm)
  • Quarzglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier(ca. ∅ 95 mm, L 280 mm oder L 600 mm)
  • Borosilikatglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier(ca. ∅ 95 mm, L 280 mm oder L 600 mm)

Beladung 

  • Warenträger (Option: wasssergekühlt), Quarzglasboote, Pulverdrehtrommel, Schüttgutdrehtrommel, Aluminiumblech, Edelstahlblech, Borosilikatglas, Quarzglas

Elektroden 

  • Ein- oder Mehretagen
  • RIE

Steuerungen 

  • Halbautomatik
  • PCCE-Steuerung (Microsoft Windows CE)
  • PC-Steuerung (Microsoft Windows POS Ready 2009

Druckmessung 

  • Pirani
  • Baratron (für Korrosiv Gas Version)

Timer 

  • Digital

Generatoren 

Frequenzen:40 kHz: Leistung 0 - 100 W; 0 - 1000 W
13,56 MHz; Leistung 0 - 50 W; 0 - 300 W
2,45 GHz: Leistung 0 - 100 W; 0 - 300 W

Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 %

Vakuumpumpen 

  • In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)

Weitere Optionen

Ersatzteilsets, Druckmessgerät, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolymerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoffgenerator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, TEM Probenhalterflansch, Wartung/Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage.