DLC-Plasmaanlage

DLC-Plasmaanlage
Die DLC- Plasmaanlage ist DLC-Beschichtungsfähige Anlage, die es in verschiedenen Ausführungen gibt.

Anlagentyp: Tetra 30 RF PC

Gehäuse: B 600, H 2100, T 800

Kammer: B 305, H 305, T 360

Kammervolumen: ca. 34l

Steuerung: PC - Steuerung, Fernwartung möglich

Gaszuführung: über Mass-Flow-Controller (MFCs)

Generator: RF – Generator mit 13,56 MHz mit bis zu 1000W, automatching

Heizung: Kammerheizung und Rohrheizungen bis 80°C

Vakuumpumpe: iH1800 + pHMB2400 Poots Pumpen mit Saugleistung 4200m³/h

Wasserkühlung: Rehsler TAE EVO 020 mit 3,8kW Leistung

Druckmessung: Baratron