Beschichtungswerkstoff: Parylene N, C, D, F-VT4, F-AF4
Mögliche Schichtdicke: 0,05 bis zu 100 Mikrometer
Abmessungen:
Breite: ca. 2600 mm
Tiefe: ca. 1000 mm
Höhe: ca. 2000 mm
Pyrolyse: 4 kW / max 850 °C
Gaseinspritzung: Homogenes Verteilungssystem
Parylene P 260
Kammer:
Durchmesser: 640 mm
Höhe: 800 mm
Karussell:
Durchmesser: 560 mm
Höhe: 650 mm
Kühlfalle:
Flüssigstickstoff
Pumpensystem:
Zweistufige Drehschieberpumpe
Leistung 1800 m3/h
Enddruck:
1 x 10-3 mbar
Steuerung:
PC-basierte Steuerung
mit Windows-Betriebssystem
Anschlüsse:
3-Phasen/400 V/32 A/50-60 Hz
Druckluft:
6 bar ölfrei und trocken
Abluft:
42 mm Schlauch
Optionen:
Heizmantel zur Verbesserung der Abscheidung von Parylene D
Wärmetauscher zur Verbesserung der Abscheidung von Parylene N und F
LF Generator für die Vorbehandlung
Silan-Verdampfungssystem
Schichtdickenmessgerät