Kammer:
Durchmesser: 640 mm
Höhe: 800 mm
Karussell:
Durchmesser: 560 mm
Höhe: 650 mm
Kühlfalle:
Flüssigstickstoff
Pumpensystem:
Zweistufige Drehschieberpumpe
Leistung 1800 m3/h
Enddruck:
1 x 10-3 mbar
Steuerung:
PC-basierte Steuerung
mit Windows-Betriebssystem
Anschlüsse:
3-Phasen/400 V/32 A/50-60 Hz
Druckluft:
6 bar ölfrei und trocken
Abluft:
42 mm Schlauch
Optionen:
Heizmantel zur Verbesserung der Abscheidung von Parylene D
Wärmetauscher zur Verbesserung der Abscheidung von Parylene N und F
LF Generator für die Vorbehandlung
Silan-Verdampfungssystem
Schichtdickenmessgerät