Plasma-Generatoren

Damit eine Plasmaanlage funktioniert, bedarf es eines Generators. Welche Frequenz dabei die beste Frequenz für die gewünschte Plasmaanwendung ist, kann nicht allgemein beantwortet werden, sondern muss von Fall zu Fall entschieden werden. Nachdem Diener electronic bereits seit Jahren Plasma-Generatoren mit einer Frequenz von 50 kHz und 2,45 GHz im Produktangebot hat, kommen nun die eigens entwickelten und produzierten 13,56 MHz-Generatoren mit 100 und 300 Watt dazu.

Vorteile der 13,56 MHz-Generatoren: 

  1. RIE-Betrieb möglich
  2. Homogenität ist besser als bei 2,45 GHz
  3. Ätzrate ist bei gleicher Leistung höher als bei 40 kHz
  4. Metalldrehtrommeln können problemlos verwendet werden
  5. Es können Elektroden/Warenträger aufgebaut werden, die Symmetrierung der Elektroden ist aber sehr aufwändig
  6. Geeignet für Front- und Back-End-Halbleiterprozesse
  7. Hohe Beschichtungsraten bei Plasma-Polymerisationsprozessen

Hauptanwendungsgebiete sind bei beiden Leistungen die Plasmaanwendungen aktivieren, reinigen, ätzen, Halbleiter (front-end), Halbleiter (back-end) und Plasmapolymerisation. Die Impedenzanpassung kann sowohl manuell (handmatching) als auch automatisch (automatching) erfolgen, ist aber in jedem Fall erforderlich, weshalb das HF-System aus Generator und Matching besteht.

Während beim Handmatching die Matching bei jedem Prozessstart eingestellt und während des Prozesses sporadisch kontrolliert und nachgestellt werden muss, werden die Kondensatoren automatisch eingestellt und bei Veränderungen nachgeregelt.

Möglich sind außerdem die Anzeige der Vorwärts- und Rückwärtsleistung, Sicherheitsabschaltung über Türschalter und Vakuumsicherheitsschalter, quarzstabilisierte Frequenz um DIN EN 55011 einzuhalten und eine PC-Schnittstelle.

Klicken Sie hier und erfahren Sie mehr über die einzelnen Generatoren: