Die Produktionsanlage Tetra-7500 mit ihren 7500 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.

Plasmaanlage Tetra-7500-LF-PC- gebraucht

Technische Daten:

Schaltschrank: B 3000 mm, H 2000 mm, T 1000 mm

Kammer: B 1500 mm, T 2000 mm, H 2500 mm

Kammervolumen: ca. 7500 Liter

Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs

Generator: 6 Stück (je 40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)

Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus