Plasmaetcher

Im Allgemeinen können Niederdruck-Plasmaanlagen für unterschiedliche Plasmaprozesse eingesetzt. Eine Plasmaanlage kann für Plasmaätzen optimiert oder einsetzbar sein. Vorzugsweise ist dies eine Anlage, die mit der Option der Mikrowelleneinkopplung ausgestattet ist, da bei Mikrowellenanregung besonders hohe Ätzraten und ein sehr selektiver Atzvorgang möglich sind. Eine entsprechend optimierte und eingesetzte Plasmaanlage wird deshalb oft als Plasmaetcher bezeichnet.

Anlagen, die für Plasmaätzen optimiert sind, sind oft mit einer Mikrowelleneinkopplung ausgestattet