Anlagenkomponenten

Die Komponenten einer Niederdruck-Plasmaanlage sind:

Der Rezipient oder Plasmakammer

Plasmakammer
Der 5,2 m³ große Rezipient der Anlage Tetra 5200

HF-Generator

HF-Generator
Generatoren zur Hochfrequenzanregung gibt es im kHz-, MHz- und GHz-Bereich

Vakuumpumpe

Tetra 12600
Bei den größten Plasmaanlagen wie bei der Tetra 12600 werden mehrere Hochleistungspumpen zur Evakuierung benötigt.
Tetra 2800
Bei Großanlagen wie der Tetra 2800 erfolgt die Plasmaanregung durch mehrere HF-Generatoren, die mit der PC-Steuerung in einer Versorgungseinheit integriert sind.

Die Komponenten einer Atmosphärendruck-Plasmaanlage

Atmosphärendruckplasma
Plasmabeam PC Atmosphärendruck-Plasmaanlage mit Hochspannungsgenerator, PC-Steuerung, Plasmaerzeuger und Versorgungsschlauch