Kaltes Plasma

In der Natur (Sterne, Blitz) ist Plasma mit sehr hohen Temperaturen verbunden. Hohe Temperaturen entstehen durch den Stromfluss auch bei der Plasmaerzeugung durch Gasentladung. Wenn ein Gas durch elektromagnetische HF-Felder ionisiert wird, dann bleibt das Plasma kalt oder nur gering erwärmt. "Heiß" sind im kalten Plasma nur die freien Elektronen, die durch ihre geringe Masse der Frequenz des hochfrequenten Feldes folgen können. Die schweren Atomen, Ionen und Radikale sind dafür zu träge und verändern deshalb ihre Bewegung, welche die Temperatur bestimmt, bei HF-Anregung kaum.

Hochfrequenzanregung
Bei Hochfrequenzanregung werden Substrate im Plasma thermisch kaum belastet