• Plasmaerzeuger mit Plasma

Plasmabeschichten durch Plasmapolymerisation mit Atmosphärendruckplasma

Plasma jet, Plasma pen
PlasmaBeam mit Polymerisationszubehör

1. Wie funktioniert das Beschichten mittels Atmosphärendruck Plasmajet Verfahren?

Zum Beschichten mit dem Plasmajet-Verfahren (atmosphärisches Plasma) werden die Monomere gasförmig mittels Trägergas direkt in den Plasmastrahl zugeführt. Damit wird das Monomer mittels Plasma auf der Oberfläche fokussiert und polymerisiert.

2. Welche Schichten können mit atmosphärischem Plasma erzeugt werden und welche Monomere werden dafür eingesetzt?

Atmosphärisches Plasma ist hauptsächlich zur Erzeugung von hydrophilen, haftvermittelnden sowie korrosionsvorbeugenden Schichten geeignet.

Als Monomere werden silizium- und kohlenstoffhaltige Substanzen verwendet. Dazu gehören z. B. verschiedene Acrylate und gängige siliziumhaltige Monomere vom Typ HMDSO.

3. Welche Monomere dürfen nicht verwendet werden?

Auf Grund von stark toxischer Wirkung dürfen keine halogenhaltigen Gase und Monomere mit atmosphärischem Plasma verwendet werden (F2, CL2, Br2, I).

4. Welche Trägergase werden bei atmosphärischer Plasmabeschichtung eingesetzt?

Typischerweise werden folgende Gase eingesetzt:

  • Helium (He)
  • Argon (Ar)
  • Stickstoff (N2)

5. Welche Schichtstärken können erreicht werden und wie können diese gemessen werden?

Die Schichtstärke beträgt einige hundert Nanometer. Zur Messung von solchen dünnen Schichten kann als zuverlässiges Verfahren das sogenannte Profilometer (z. B. Dektak) eingesetzt werden.

6. Welche Anwendungen sind möglich?

Weitere Informationen finden Sie unter Anwendungen.