Tetrafluormethan

Tetrafluormethan CF4 entspricht dem Methan-Molekül, bei dem alle 4 Wasserstoffbindungen durch Fluor ersetzt wurden. 
In Plasma-Prozessen häufig eingesetztes Prozessgas, insbesondere bei Ätzprozessen. Tetrafluormethan (CF4, auch als Freon 14 bezeichnet) ist unter normalen Bedingungen völlig inert, bildet aber im Plasma freie Fluoratome und CF2- und CF3-Radikale. Diese haben eine sehr starke Ätzwirkung, z.B. auf Siliciumdioxid. Mischungen aus CF4 und O2 ätzen ca. 5 x schneller als reiner Sauerstoff.

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