Lexikon der Oberflächentechnik
Elektropositives Plasma
Plasma, das einen hohen Anteil an Kationen und an freien Elektronen aufweist. Das ist grundsätzlich der Normalfall bei einem Niederdruckplasma mit Hochfrequenzanregung.
Die Elektropositivität ist die Eigenschaft eines Atoms das Bindungs-e-Paar einer kovalenten Bindung nicht an sich heranzuziehen.