Lexikon der Oberflächentechnik
Dünnschichttechnik
Die Dünnschichttechnik kommt aus der Elektronik und ist ein Herstellungsverfahren für miniaturisierte elektronische Schaltungen durch Aufdampfen von Bauelementen in einer Schicht auf ein isolierendes Substrat. Der Stärkenbereich liegt zwischen weniger Mikrometer und wenigen Nanometern.
In der Dünnschichttechnik lassen sich kleinere Strukturen realisieren als in der Dickschichttechnik.