Lexikon der Oberflächentechnik

Bonden

Verbindungstechnik, vorwiegend benutzt in der Halbleiterindustrie, die elektrisch leitende Kontakte durch Reibverschweißung (Kaltverschweißung) von z. B. Anschlußfenstern auf Chips mit den Gehäusen oder Leiterbahnen über Bonddrähte herstellt. Der Bond-Prozess wird oft durch organische Rückstände aus vorhergehenden Produktionsschritten gestört, die sich mittels Plasma beseitigen lassen.

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