Beschichtungstechnik

Für das Aufbringen bzw. Abscheiden funktioneller Schichten stehen verschiedene Beschichtungstechnologien zur Verfügung. Je nach Schicht-Substrat-Kombination und Applikation der Schicht werden die Beschichtungsverfahren mittels unterschiedlicher Beschichtungsanlagen realisiert. In einer Beschichtungsanlage können aber durchaus mehrere Verfahrensvarianten zur Anwendung kommen (z.B. LF-Sputtern, PECVD, PACVD).

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