Plasmaanlage Nano gebraucht
Gebrauchte Plasmaanlage Pico für Prozessentwicklung, Reinigung, Aktivierung, Ätzung in Kleinserie - Diener Plasmasysteme.

Verfügbarkeit der Konfiguration auf Anfrage.

Plasmaanlage Nano gebraucht

Technische Daten

Gehäuse
B 600 mm, H 2000 mm, T 800 mm

Kammer
Quarzglas (UHP), Tür mit Scharnier
(ca. ∅ 240 mm, T 390 mm)

Kammervolumen
ca. 24 Liter

Gaszuführung
2 Gaskanäle über Nadelventile
12 Gaskanäle über Mass-Flow-Controller (MFCs)

Generator
1 Stück (2,45 GHz, 0 - 1500 W)

Steuerung
Halbautomatik