Sonder und Inline/Vollautomatische Anlagen

Niederdruck-Plasmaanlagen (Plasmacleaner)

Wir bauen speziell auf Ihre Bedürfnisse angepasst unsere Plasmaanlagen. Maßgebend für die Konzeption sind Gesichtspunkte wie der zu erwartende Materialdurchsatz und die Größe der zu behandelnden Teile. Eine Kurztaktanlage kann gut in eine bestehende Fertigungslinie integriert werden. Eine vollautomatisierte Kurztaktanlage wird zusätzlich die möglichen Bedienungsfehler ausschließen.

Hier eine kleine Auswahl der bereits gefertigten Sonder-/Inlineanlagen

Tetra-6-PC Rolle zu Rolle

| Sonderanlage

Technische Daten:

  • Schaltschrank: B 3491 mm, H 1000 mm, T 1278 mm
  • Kammer: L 1050 mm, ∅ 90 mm
  • Kammervolumen: ca. 6 Liter
  • Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs
  • Generator: 2 Stück (je 40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)
  • Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
  • Automatisierung: Rolle-zu-Rolle

Tetra 120 LF-PC

| Inlineanlage

Technische Daten:

  • Schaltschrank: B 600 mm, H 2150 mm, T 1000 mm
  • Kammer: B 1200 mm, H 150 mm, T 700 mm
  • Kammervolumen: ca. 120 Liter
  • Gaszuführung: 4 Gaskanäle über MFCs
  • Generator: 2 Stück (je 40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)
  • Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
  • Automatisierung: Die Anlage hat eine automatische Tür

Tetra 185 PCB Desmearing

| Sonderanlage

Technische Daten:

  • Schaltschrank: B 600 mm, H 2100 mm, T 1000 mm
  • Kammer: B 400 mm, H 665 mm, T 700 mm
  • Kammervolumen: ca. 185 Liter
  • Gaszuführung: 4 Gaskanäle über MFCs
  • Generator: 1 Stück (80 kHz)
  • Steuerung: Full PC-Steuerung

Eigenschaften:

  • Desmearing div. Materialien (Bohrlochwandreinigung)
  • Oberflächenreinigung
  • Aktivierung von metallischen Oberflächen
  • 7 Einschübe für 7 gleichzeitig zu behandelnde Platten der Maße max. 460 x 610 mm oder 14 Leiterplatten der Maße max. 230 x 305 mm

Tetra 210 LF-PC

| Inlineanlage

Technische Daten:

  • Schaltschrank: B 1560 mm, H 2350 mm, T 1860 mm
  • Kammer: B 6000 mm, H 600 mm, T 600 mm
  • Kammervolumen: ca. 210 Liter
  • Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs
  • Generator: 1 Stück Pulsgenerator1 Stück (40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)
  • Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Tetra 216 LF-PC

| Sonderanlage

Technische Daten:

  • Schaltschrank: B 600 mm, H 1700 mm, T 800 mm
  • Kammer: B 600 mm, H 600 mm, T 620 mm
  • Kammervolumen: ca. 216 Liter
  • Gaszuführung: 5 Gaskanäle über MFCs
  • Generator: 1 Stück (je 80 kHz) 
  • Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus 

Tetra 330 LF-PC

| Inlineanlage

Technische Daten:

  • Schaltschrank: B 1200 mm, H 1800 mm, T 1800 mm
  • Kammer: B 530 mm, H 700 mm, T 900 mm
  • Kammervolumen: ca. 330 Liter
  • Gaszuführung: 4 Gaskanäle über MFCs
  • Generator: 1 Stück (je 80 kHz) 
  • Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus 

Tetra 375 Rolle/Rolle

| Sonderanlage

Technische Daten

  • Gehäuse mit Schaltschrank B 3150mm, H 2200mm, T 1800mm
  • Kammer: B 1500mm, H 1000mm, T 250mm
  • Gas: 3 X Gas 1 X Ozon
  • Generator 5000
  • Steuerung : PC- Steuerung
  • Rolle Rolle Anlage für zwei getrennte Rollen zur Unabhängigen Bearbeitung.
     

Tetra 575 LF-PC

| Sonderanlage

Technische Daten:

  • Schaltschrank: B 1150 mm, H 1900 mm, T 1600 mm
  • Kammer: B 600 mm, H 1200 mm, T 800 mm
  • Kammervolumen: ca. 575 Liter
  • Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs
  • Generator: 1 Stück (40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)
  • Teile-Aufnahme: 22 Etagen / Warenträger (variabel)
  • Steuerung: PC-Steuerung (Windows) 

Tetra 400 LF-PC

| Sonderanlage

Technische Daten:

  • Schaltschrank: B 600 mm, H 2100 mm, T 650 mm
  • Kammer: B 915 mm, H 750 mm, T 725 mm
  • Kammervolumen: ca. 400 Liter
  • Gaszuführung: 3 Gaskanäle über MFCs
  • Generator: 2 Stück (je 40 kHz)(optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)
  • Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
  • Automatisierung: Die Anlage hat eine automatische Schiebetür

Tetra 830 AL-PC mit 2 Türen

| Inlineanlage

Technische Daten:

  • Schaltschrank: B 600 mm, H 1.700 mm, T 800 mm
  • Kammer: 900 mm, H 400 mm, T 2300 mm
  • Türen: 2 Stück (1x Vorderseite, 1x Rückseite)
  • Kammervolumen: ca. 830 Liter
  • Gaszuführung: 1 Gaskanal über MFCs
  • Generator: 1 Stück (80 kHz)
  • Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
  • Automatisierung: Die Anlage kann in eine Fertigungslinie integriert werden.

Tetra 800 LF-PC

| Sonderanlage

Technische Daten:

  • Schaltschrank: B 600 mm, H 1800 mm, T 800 mm
  • Kammer: B 1250 mm, H 550 mm, T 1120 mm
  • Kammervolumen: ca. 800 Liter
  • Gaszuführung: 3 Gaskanäle über MFCs
  • Generator: 1 Stück (40 kHz)
  • Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Tetra 810 LF-PC

| Sonderanlage

Technische Daten:

  • Schaltschrank: B 1200 mm, H 2200 mm, T 2000 mm
  • Kammer: B 900 mm, H 1100 mm, T 900 mm
  • Kammervolumen: ca. 810 Liter
  • Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs
  • Generator: 1 Stück (80 kHz)
  • Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Tetra-1200-LF-PC 

| Sonderanlage

Technische Daten:

  • Schaltschrank: B 1000 mm, H 1000 mm, T 1800 mm
  • Kammer: B 600, H 1000 mm, T 2000 mm
  • Kammervolumen: ca. 1200 Liter
  • Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs
  • Generator: 3 Stück (je 40 kHz)
  • Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Tetra 2800-LF-PC

| Sonderanlage

Technische Daten:

  • Schaltschrank: B 600 mm, H 1700 mm, T 800 mm
  • Kammer: ∅ 1200 mm, T 2500 mm
  • Kammervolumen: ca. 2800 Liter
  • Gaszuführung: 3 Gaskanäle über MFCs
  • Generator: 1 Stück (40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)
  • Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Tetra 3600

| Sonderanlage

Technische Daten:

  • Schaltschrank/Kammer: L 450 mm, H 210 mm, B 170 mm
  • Kammervolumen: ca. 3600 Liter
  • Gaszuführung: 2 Gaskanal über MFCs
  • Generator: 3 Stück (80 kHz) (5KW) Suaerstoffgenerator
  • Steuerung: Full PC-Steuerung (Windows)- Schwenkarm 
  • Schubladensystem: Ausziehbarer Warenträger

Tetra 8000-LF-PC

| Sonderanlage

Technische Daten:

  • Schaltschrank: B 2000 mm, H 1800 mm, T 1000 mm
  • Kammer: B 1700 mm, T 2800 mm, H 1700 mm
  • Kammervolumen: ca. 8000 Liter
  • Gaszuführung: 2 Gaskanäle über MFCs
  • Generator: 4 Stück (je 40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)
  • Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus

Bel Jar 35

| Sonderanlage

Die Bell Jar 35 Plasmaanlage ist eine Forschungsanlage, die für wissenschaftliche Experimente entwickelt wurde. Die Anlage ist sowohl für thermisches Verdampfen, Sputtern, Elektronenstrahlverdampfung, metallische Beschichtungen für REM (Raster Elektronen Mikroskop) Probenvorbereitungen als auch für klassische Plasmaprozesse geeignet.

 

 

Technische Daten:

  • Gehäuse ca. B 560 mm x H 1640 mm x T 620 mm
  • Kammervolumen: ca. 35 Liter
  • Spannungsversorgung: 230 V / 16 A
  • Gaszufuhr: 3 Mass-Flow-Controller (MFCs)
  • Vakuumkammern: Glasglocke aus Borosilikat Glas ∅ 315 mm x H 500 mm
  • Sputterquelle: 1 Sputterquelle 2" - 3" + Shutter (optional mit Kamin und Gaseinlass für reaktive Prozesse)
  • Substrathalter: ∅ 140 mm (optional drehbar, Substratheizung, Substratkühlung), Schaltbar als Elektrode zur Plasmavorbehandlung (Reinigen, Aktivieren, Ätzen)
  • Steuerung: PC-Steuerung (Microsoft Windows XPe) 
  • Druckmessung: Pirani
  • Vakuumpumpen: In verschiedenen Größen und von verschiedenen Herstellern (nach Bedarf mit Aktivkohlefilter)
  • Weitere Optionen: Ersatzteilsets, Druckmessgerät, Korrosivgasausführung, Gasflaschen, Druckminderer, Heizplatte, Temperaturanzeige, beheizbare Kammer, Faraday Box, Plasmapolymerisationszubehör, Testtinten, Sauerstoffgenerator, langsame Belüftung, langsames Abpumpen, TEM Probenhalterflansch, Wartung/Service, Dokumentation in Landessprache, Installation vor Ort inkl. Schulung. Weitere Optionen auf Anfrage

 

Generatoren Frequenzen:    

  • 40 kHz: Leistung 0 - 500 W
  • 13,56 MHz: Leistung 0 - 300 W
  • Bias-Spannungsquelle DC oder einpolig gepulst
  • Leistung max. 300 WSpannung max. 600 V DC
  • Die Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 %

Tetra 30 LF-PC

| Inlineanlage

Technische Daten:

  • Schaltschrank: B 800 mm, H 600 mm, T 500 mm
  • Kammer: B 240 mm, H 150 mm, T 240 mm
  • Kammervolumen: ca. 30 Liter
  • Gaszuführung: 1 Gaskanal über MFCs
  • Generator: 1 Stück (40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)
  • Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
  • Automatisierung: Die Anlage kann in eine Fertigungslinie integriert werden.
  • Diese Anlage ist auch als Bausatz erhältlich.

Tetra 100 LF-PC

| Sonderanlage

Technische Daten:

  • Schaltschrank: B 2000 mm, H 2200 mm, T 2000 mm
  • Kammer: B 700 mm, H 200 mm, T 700 mm
  • Kammervolumen: ca. 100 Liter
  • Gaszuführung: 3 Gaskanäle über MFCs
  • Generator: 1 Stück (40 kHz) (optional: 13,56 MHz oder 2,45 GHz)
  • Steuerung: PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
  • Automatisierung: Die Anlage hat eine Schubladentü
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