Parylene P 260

Paryleneanlage P260
Parylene Beschichtungsanlage P260

Beschichtungswerkstoff: Parylene N, C, D, F-VT4, F-AF4

Mögliche Schichtdicke: 0,05 bis zu 100 Mikrometer

Abmessungen:

Breite: ca. 2600 mm

Tiefe: ca. 1000 mm

Höhe: ca. 2000 mm

Pyrolyse: 4 kW / max 850 °C

Gaseinspritzung: Homogenes Verteilungssystem

Kammer innen P260
Kammerinnenraum P260

Kammer:
Durchmesser: 640 mm
Höhe: 800 mm

Karussell:
Durchmesser: 560 mm
Höhe: 650 mm

Kühlfalle:
Flüssigsticksto­ff

Pumpensystem:
Zweistufige Drehschieberpumpe

Leistung 1800 m3/h

Enddruck:
1 x 10-3 mbar

Steuerung:
PC-basierte Steuerung
mit Windows-Betriebssystem

Anschlüsse:
3-Phasen/400 V/32 A/50-60 Hz

Druckluft:
6 bar ölfrei und trocken

Abluft:
42 mm Schlauch

Optionen:
Heizmantel zur Verbesserung der Abscheidung von Parylene D
Wärmetauscher zur Verbesserung der Abscheidung von Parylene N und F
LF Generator für die Vorbehandlung
Silan-Verdampfungssystem
Schichtdickenmessgerät