Optionen und Zubehör für Plasmaanlagen

Unsere Plasmaanlagen sind mit folgenden Optionen/Zubehör - welches in den meisten Fällen auch nachgerüstet werden kann - lieferbar:

2,45 GHz-Generator (Mikrowelle)

Die Leistung reicht von 0 - 850 Watt, der Generator verfügt über eine PC-Schnittstelle. Hauptanwendungsgebiete sind aktivieren, reinigen, ätzen, Halbleiter (front-end), Halbleiter (back-end), Plasmapolymerisation.

13,56 MHz-Generator

Um DIN EN 55011 einzuhalten, sind unsere 13,56 MHz-Generatoren quarz-stabilisiert. Die Impedanzanpassung ist fest, manuell und automatisch möglich. Hauptanwendungsgebiete sind aktivieren, reinigen, ätzen, Halbleiter (front-end), Halbleiter (back-end), Plasmapolymerisation.

Generator 13,56 MHz

40 kHz-Generator

Die Impedanzanpassung ist nur automatisch möglich, die Leistung gibt es in zwei Ausführungen. Hauptanwendungsgebiete sind aktivieren, reinigen, ätzen, Halbleiter (back-end), Plasmapolymerisation.

2/2 Wegeventil zur Flüssigkeitsdosierung

Ventil für die gezielte Dosierung von Monomeren.

Aktivkohlefilter

Der Aktivkohlefilter kann einfach gewechselt werden.

Ansaugfilter für Vakuum

Schützt die Vakuumpumpe vor herum fliegenden Teilen, Beschichtung und vor Verschmutzung.

Automatische Tür

Eine Tür, die sich bei Prozess-Start automatisch schließt.

Barcodeleser

Zur Verfolgung der Chargen.

Beheizbare Kammer

Die Kammer kann bis ca. 80 °C beheizt werden. Die Temperatur ist regelbar. Sie ist für definierte Prozessbedingungen und höhere Ätzraten.

Biasspannungsmessung

Die Biasspannungsmessung ist ein Messgerät und für kHz- und MHz-Generatoren erhältlich.

Bubblerflasche

Die Bubblerflasche gehört zum Polymerisationszubehör und wird zum Anschluss flüssiger Monomere an die Vakuumkammer benötigt. Anstelle der einfachen Monomerflasche wird mit einem Trägergas gearbeitet. Das Trägergas, z.B. Argon wird durch das Monomer gespült.

Butterfly-Ventil

Ein Butterfly-Ventil wird zum Regeln eines Gasstroms eingesetzt, in der Vakuumtechnik vor allem innerhalb der Saugleitung einer Vakuumpumpe. Hierzu wird der Strömungswiderstand in der Leitung durch Verstellen einer Klappe, die die Leitung mehr oder weniger verschließen kann, verändert.

Dokumentation in der Landessprache

Die Dokumentation ist nach Maschinenrichtlinie 89/392/EWG erstellt. Dies gilt nicht für die Sprachen deutsch und englisch. Die Dokumentation ist der Anlage nicht automatisch beigefügt und muss separat dazu bestellt werden.

Drehtrommel

Warenträgerart zur Bestückung mit Schüttgütern.

Druckmessgeräte

Pirani-Sensor oder Baratron - Anzeige des Drucks in der Vakuumkammer.

Druckminderer

Der Druckminderer ist zum Anschluss an die Gasflasche - 200 bar. Verschiedene Gase benötigen verschiedene Druckminderer. So gibt es einen für Edelgase H2, O2, CF4, C4F8 und einen für NH3.

Durchlaufanlagen

Zur Integration einer Niederdruckplasmaanlage in eine automatische Bearbeitungslinie.

Ersatzteilesatz Standard oder PFPE

Der Ersatzteilesatz beinhaltet jeweils 1 Spannring, 1 Dichtung, 1 Edelstahl-Wellenschlauch (Vakuumschlauch), 1 Fensterscheibe, 1 Türdichtung, 10 St. Feinsicherungen für die Plasmaanlage, sowie beim Standard-Satz 1 Liter Mineralöl für die Vakuumpumpe und bei dem PFPE-Satz 1 Liter PFPE-Öl für die Vakuumpumpe.

Etikettendrucker

Automatischer Ausdruck von Etiketten nach der Plasmabehandlung.

Etikettenleser

Zur Verfolgung von Chargen.

Faraday Box / Käfig

Für elektrisch empfindliche Bauteile. Die zu behandelnden Bauteile liegen in der Faraday Box. Diese kann aus der Vakuumkammer heraus genommen werden.

Gasflaschenhalter

Am Arbeitstisch, an Regalen oder Wandleisten zu befestigen. Die Spannweite beträgt 70 mm. Der Spanngurt sichert ohne Spielraum. Er ist für alle Flaschengrößen geeignet.

Gaswarngerät (Dräger)

Zusätzliche Sicherungsoption bei Verwendung von entzündlichen Gasen an Arbeitsplätzen.

Halbautomatische Steuerung

Eine ausführliche Beschreibung unserer verschiedenen Steuerungsvarianten finden Sie unter dem Menüpunkt Plasmaanlagen/Steuerung/halbautomatische Steuerung.

Heizplatten

Die zu behandelnden Teile liegen auf der Heizplatte, diese kann bis max. 150 °C beheizt werden und ist für definierte Prozessbedingungen und höhere Ätzraten geeignet. Es gibt zwei Optionen:

Ausgestattet mit Temperaturanzeigegerät wird innerhalb der Vakuumkammer ein Thermofühler angebracht, damit die Bauteiloberflächentemperatur gemessen werden kann. Ausgestattet mit der Temperaturanzeige integriert in die PC-Steuerung wird auch innerhalb der Vakuumkammer ein Thermofühler angebracht und so die Bauteiloberflächentemperatur gemessen. Die Temperatur wird hier am Bildschirm angezeigt.

Installation Ihrer Plasmaanlage vor Ort

Diese Option beinhaltet die Reisezeit, die Arbeitszeit sowie die Reisekosten unseres Servicemitarbeiters.

Korrosivgasausführung

Ventile aus Edelstahl, Verrohrung aus Edelstahl. Zwingend erforderlich bei Plasmapolymerisation oder beim Einsatz klorrosiver Gase wie NH3, H2O, CF4, SF6.

Kundenspezifische Warenträger

Unsere Anlagen werden standardmäßig immer mit einem Warenträger ausgeliefert. Weitere oder andere Ausführungen - zur optimalen Nutzung der Plasmaanlage - können nach Rücksprache mit Diener electronic gefertigt werden. 

Lackspray / Glasplatten-Set (LABS-frei Test)

Zubehör zur Durchführung des Lack-Benetzungs-Störungs-Tests. Lieferumfang: Lackspray in Dosen, 5 Stück je 400 ml. Die Glasplatten 100 Stück, je 90 mm x 110 mm.

Langsame Belüftung der Vakuumkammer

Die Vakuumkammer wird mittels eines Filters langsam belüftet. Es wird das Herumwirbeln von kleinen Bauteilen in der Kammer verhindert.

Langsames Abpumpen der Vakuumkammer

Langsames Abpumpen der Vakuumkammer durch Bypass-Ventil. Es wird das Herumwirbeln von kleinen Bauteilen in der Kammer verhindert.

Längere Vakuumkammern (Femto, Pico, Nano, ...)

Vakuumkammern sind in Edelstahl, Borosilikatglas oder Quarzglas lieferbar. Der Kammerverschluss kann dabei zwischen Deckel und Tür mit Scharnier gewählt werden. Die Länge der Vakuumkammern ist von Ihren Anforderungen an die Plasmaanwendung abhängig. Sprechen Sie uns an.

Leistungsanzeige

Anzeige der Leistung des Generators. Analoganzeige-Instrument.

Mehretagen-Elektrode

Die Mehretagen-Elektrode ist für runde und/oder rechteckige Vakuumkammern lieferbar. Es können mehrere Teile auf einmal behandelt werden. Anwendungsgebiet sind Standard-Plasmaprozesse. Bitte halten Sie Rücksprache mit Diener electronic bezüglich der genauen Konstruktion Ihrer individuellen Elektrode sowie anderen Materialien für die Herstellung der Warenträger.

Mikrowellenlecktester

Aufgrund der gefährlichen Strahlung kann es nützlich sein, einen Mikrowellenlecktester bei Mikrowellenanlagen anzubringen.

Monomerflasche

Polymerisationszubehör. Zum Anschluss flüssiger Monomere an die Vakuumkammer.

Netzwerkanbindung

Ermöglicht das Verbinden der Anlage mit einem Computer.

OES - Optisches Emissionsspektrometer

Überwachung des Plasmaprozesses zur Qualitätssicherung. Detektion des Endpunktes des Plasmaprozesses. OES nur in Verbindung mit einer PC-gesteuerten Anlage.

PC-Steuerung

Eine ausführliche Beschreibung unserer verschiedenen Steuerungsvarianten finden Sie unter dem Menüpunkt Plasmaanlagen/Steuerung/PC-Steuerung.

PCCE-Steuerung

Auf Basis von Windows CE mit Touchpanel. Eine ausführliche Beschreibung unserer verschiedenen Steuerungsvarianten finden Sie unter dem Menüpunkt Plasmaanlagen/Steuerung/PCCE-Steuerung.

Polymerisationszubehör

Beinhaltet Verdampferflasche, eine Waage, Dosierpumpe, Heizung, evtl. Halterung.

Prozessgas-Flasche

Sauerstoff-Flasche zum Anschließen als Prozessgas in 2, 5 und 10 Liter, Wasserstoff-Flasche in 2 Liter, Argon-Flasche in 5 Liter. Für die Lieferung von Gasen sind spezielle Transportbedingungen zu berücksichtigen. Bei Mietanlagen muss die Flasche gekauft werden.

Quarzglasboot

In zwei Abmessungen verfügbar. Für ultra hochreine Plasmaprozesse oder Waferbehandlung.

RIE-Elektrode

Gibt es in rund und rechteckig aus Edelstahl, erzielt höhere Ätzraten. Anwendungsgebiet ist anisotropes und isotropes Ätzen.

RIE-Elektrode mit Gasdusche

Rechteckig aus Edelstahl. Erzielt höhere Ätzraten durch homogenere Gasverteilung. Anwendungsgebiet ist das anisotrope Ätzen.

Rolle zu Rolle System

z.B. zur Behandlung von Folien / Lead-frames.

Sauerstoffgenerator

Sauerstoff wird aus der Umgebungsluft erzeugt. Typ Kröber O2. Sauerstoffleistung: 3-6 l/min.

Sicherheitsventil

Für den Betrieb mit brennbaren Gasen wie z.B. Wasserstoff, Ethin ...

Sonderelektroden und Warenträger

Bitte halten Sie Rücksprache mit Diener electronic bezüglich der genauen Konstruktion Ihrer individuellen Elektrode sowie anderen Materialien für die Herstellung der Warenträger.

Sonderflansche / zusätzliche Flansche

Sonderflansche werden eingesetzt, wenn mehr als die vorbereiteten Anschlüsse benötigt werden.

Sondervakuumkammern

Gemäß DIN 12198 wurde an unseren Anlagen (Schauglas) eine UV-Bestrahlungsstärkemessung durchgeführt. Resultat: unbedenklich. Sondervakuumkammern gibt es in den Ausführungen rund mit Deckel, rechteckig und Tür mit Scharnier, sie sind aus Aluminium und unterscheiden sich auch durch den Öffnungsdurchmesser und die Innenabmessung. Sprechen Sie uns an.

Standard-Elektrode rund oder rechteckig

Aus Edelstahl/Aluminium-Blech für Standard-Plasmaprozesse.

TEM-Probenhalter

Spezielle Vorrichtung zum Einführen von außen in die Plasmakammer. Jede Größe ist realisierbar. Bitte teilen Sie uns die Maße/Zeichnungen Ihrer Teile mit.

Temperaturanzeigegerät

Temperaturanzeigegerät der Kammertemperatur ohne Heizplatte. Innerhalb der Vakuumkammer wird ein Thermofühler angebracht. Es kann damit die Bauteiloberflächentemperatur gemessen werden. Die Temperaturanzeige gibt es auch integriert in die PC-Steuerung. Hier wird die Temperatur am Bildschirm angezeigt.

Testtinten-Set

Testtinten zur einfachen Analyse der Oberflächenspannung. 28, 38, 56, 64, 72 und 105 mN/m sind in einem Satz enthalten. Andere Werte sind auf Anfrage lieferbar.

Thermischer Verdampfer

Für Substanzen mit niedrigem Dampfdruck. Napf-Durchmesser: 16 mm, Napf-Volumen: 0,1 l. Abschirmung gegen Plasmaeinwirkung, Kontrolle der Temperatur (max. 500 °C) und der Temperaturanstiegsgeschwindigkeit (bis zu 250 °C/min). Der Anschluss erfolgt über Kleinflansch-Durchführung.

Vakuumkammern aus Glas (Borosilikat oder Quarz)

Vakuumkammern aus Borosilikatglas sind für hochreine Plasmaprozesse. Vakuumkammern aus Quarzglas sind für ultra hochreine Plasmaprozesse.

Vakuumkammern aus Edelstahl

Vakuumkammern aus Edelstahl sind für Standard-Plasmaprozesse.

Vakuumpumpstände

Drehschieber- oder Trockenlaufpumpe mit Mineral- oder PFPE-Öl. Die Pumpen werden ölgefüllt geliefert.

Vollautomatische Steuerung

Eine ausführliche Beschreibung unserer verschiedenen Steuerungsvarianten finden Sie unter dem Menüpunkt Plasmaanlagen/Steuerung/vollautomatische Steuerung.

Vorrichtung zur Behandlung von Pulver

Pulver wird in einer rotierenden Gasflasche behandelt. Zum Befüllen kann die Flasche aus der Anlage genommen werden.

Wäschesack

Für die Vorreinigung von Kleinteilen in der Waschmaschine. Abmessungen: 500 mm x 300 mm. Mindestbestellmenge: 20 Stück.-

Wasserkühlung

Wasser-Luft-Kühlung mit Rollen für mobilen Einsatz. Anschluss potentialfrei durch 2 Wechsler-Kontakte für Pumpenschutzschaltung.

Wartungsangebot für Ihre Plasmaanlage

Das Wartungsangebot von Diener electronic beinhaltet einen lückenlosen Service. Ölwechsel, Kontrolle aller Anschlüsse, Dichtungen, Stecker usw., Leckratentest, Abgleich des Drucksensors sowie eine Funktionsprüfung. Für mehr Informationen zum Thema Wartung und Service klicken Sie auf den Menüpunkt "Beratung/Servioe".

Waschtrockner

Für die Erstreinigung von Kleinteilen vor der Plasmabehandlung. Nur bei stark verschmutzten Teilen nötig. Hersteller: Miele: Typ WT 2670 WPM.

Wassergekühlte Warenträger-Platte

Die wassergekühlte Platte wird am Kammerboden montiert und wird inklusive Wasserpumpe und Wasserbehälter geliefert. Sie wird eingesetzt zur Kühlung von wärmeempfindlichen Teilen.

Weitere Software-Funktionen

Die Software kann jederzeit um weitere Optionen erweitert werden. Bitte teilen Sie uns Ihre Anforderungen mit.

Zusätzliche Gaskanäle

Nadelventile: Unsere Anlagen können mit beliebig vielen Nadelventilen ausgestattet werden. Standard bei der Plasmaanlage vom Typ Femto sind 1-3 Stück, weitere sind auf Anfrage möglich.

Zusätzliche MFCs

MFCs: Bei den Steuerungen PC und PCCE erforderlich. Unsere Anlagen können mit beliebig vielen Mass-Flow-Controllern (MFCs) ausgestattet werden.